[实用新型]一种实现渐变色的离子溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201921478704.4 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN210916240U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 冯伟;吴海平;杜晓颖;杜国才 | 申请（专利权）人： | 深圳市长兴荣五金制品有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/14 |
| 代理公司： | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人： | 翁晓婵 |
| 地址： | 518117 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 实现 渐变 离子 溅射 镀膜 装置 | ||
1.一种实现渐变色的离子溅射镀膜装置，包括真空室(1)，其特征在于：所述真空室(1)上安装有驱动机构，所述真空室(1)内安装有第一极靶(41)、第二极靶(42)、用于悬挂工件(7)的转架(2)，所述驱动机构和所述转架(2)连接，所述第一极靶(41)位于所述转架(2)的外圈，所述第二极靶(42)位于所述转架(2)的内圈，且所述第一极靶(41)和第二极靶(42)相互对称设置。
2.根据权利要求1所述一种实现渐变色的离子溅射镀膜装置，其特征在于：所述第一极靶(41)为钛靶，所述第二极靶(42)为铬靶。
3.根据权利要求1所述一种实现渐变色的离子溅射镀膜装置，其特征在于：所述驱动机构包括电机(3)，所述电机(3)安装在所述真空室(1)上，所述电机(3)的输出轴伸入所述真空室(1)内且连接有驱动齿轮(31)。
4.根据权利要求3所述一种实现渐变色的离子溅射镀膜装置，其特征在于：所述转架(2)包括顶盘(21)、底盘(22)、若干根支撑杆(23)及挂具(24)，所述顶盘(21)和底盘(22)分别通过支承轮(5)与所述真空室(1)连接，若干根所述支撑杆(23)呈圆周分布，且每根支撑杆(23)的顶端与所述顶盘(21)连接，每根支撑杆(23)的底端与所述底盘(22)连接，所述顶盘(21)外周设置有齿牙，所述顶盘(21)通过所述齿牙与所述驱动齿轮(31)啮合，所述挂具(24)与所述顶盘(21)和支撑杆(23)固定连接，所述挂具(24)上设置有挂杆(25)，所述工件(7)按需求渐变色的方向平挂在所述挂杆(25)上。
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