[实用新型]一种MEMS器件的封盖分离装置有效
| 申请号： | 201921479855.1 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN210548691U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 龚慧兰;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 厦门睿析检测技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K3/00 | 分类号： | B23K3/00 |
| 代理公司： | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人： | 王志敏 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市中国(福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 器件 分离 装置 | ||
1.一种MEMS器件的封盖分离装置，其特征在于，包括MEMS器件夹具、设于所述MEMS器件夹具上端的加热组件，以及设于所述MEMS器件夹具一侧的封盖分离组件，所述封盖分离组件包括设于所述MEMS器件夹具一侧的真空吸嘴、设于所述真空吸嘴中部的支架，以及与所述真空吸嘴连接的真空发生器，所述真空吸嘴与所述支架转动连接。
2.根据权利要求1所述的MEMS器件的封盖分离装置，其特征在于，所述加热组件包括气泵和与所述气泵连接的气体加热装置，所述气体加热装置的出风口设于所述MEMS器件夹具的上端。
3.根据权利要求2所述的MEMS器件的封盖分离装置，其特征在于，所述气体加热装置的下端设有一个出气管，所述出气管朝向所述MEMS器件夹具设置。
4.根据权利要求1所述的MEMS器件的封盖分离装置，其特征在于，所述真空吸嘴远离所述MEMS器件夹具的一端设有一个伸缩电机。
5.根据权利要求1所述的MEMS器件的封盖分离装置，其特征在于，所述支架的上端设有一个球块，所述真空吸嘴与所述球块对应的位置设有一个容置槽。
6.根据权利要求1所述的MEMS器件的封盖分离装置，其特征在于，所述真空吸嘴包括固定杆和设于所述固定杆末端的真空吸盘，所述真空吸盘朝向所述MEMS器件夹具设置，所述固定杆与所述支架转动连接。
7.根据权利要求6所述的MEMS器件的封盖分离装置，其特征在于，所述真空吸盘设有多个，多个所述真空吸盘均匀分布在所述MEMS器件夹具的上端。
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