[实用新型]超高真空用精密压电陶瓷摆动台

权利要求书

1.一种超高真空用精密压电陶瓷摆动台，包括摆动台基座和相对于摆动台基座往复摆动运动的摆动台台面，所述摆动台台面具有台面延伸部，其特征在于，所述超高真空用大行程精密压电位移台还包括：

两个交叉滚珠导轨，每个交叉滚珠导轨包括第一导轨体、第二导轨体和导轨保持架，所述导轨保持架位于第一导轨体和第二导轨体之间，所述导轨保持架同时与第一导轨体和第二导轨体耦合；

两个压电腿底座，所述台面延伸部位于两个压电腿底座之间，所述台面延伸部的两侧分别设有蓝宝石片，所述压电腿底座与位于同侧的蓝宝石片之间设有至少一个压电陶瓷腿，所述压电陶瓷腿粘接于压电腿底座处，所述压电陶瓷腿相对于台面延伸部呈镜面对称状，各个压电陶瓷腿的一侧与蓝宝石片相互贴合并且紧密接触，各个压电陶瓷腿的另一侧与压电腿底座相互贴合并且紧密接触，通过预紧螺丝调节预紧力大小。

2.根据权利要求1所述的超高真空用精密压电陶瓷摆动台，其特征在于，所述压电腿底座的两端端部同时设有预紧螺丝，所述预紧螺丝的一端与位于一侧的压电腿底座相接，所述预紧螺丝的另一端与位于另一侧的压电腿底座相接。

3.根据权利要求2所述的超高真空用精密压电陶瓷摆动台，其特征在于，所述压电腿底座与预紧螺丝的接合处设有压簧。

4.根据权利要求1-3中任一项权利要求所述的超高真空用精密压电陶瓷摆动台，其特征在于，所述超高真空用精密压电陶瓷摆动台的尺寸为40mm*40mm*17mm。

5.根据权利要求1-3中任一项权利要求所述的超高真空用精密压电陶瓷摆动台，其特征在于，所述超高真空用精密压电陶瓷摆动台的倾转角为±10°。

6.一种超高真空用精密压电陶瓷摆动台，包括摆动台基座和相对于摆动台基座往复摆动运动的摆动台台面，其特征在于，所述超高真空用大行程精密压电位移台还包括：

两个交叉滚珠导轨，每个交叉滚珠导轨包括第一导轨体、第二导轨体和导轨保持架，所述导轨保持架位于第一导轨体和第二导轨体之间，所述导轨保持架同时与第一导轨体和第二导轨体耦合；

两个压电腿底座，所述摆动台台面贴合有两个蓝宝石片，所述压电腿底座与任一侧的蓝宝石片之间设有至少一个压电陶瓷腿，所述压电陶瓷腿粘接于压电腿底座处，各个压电陶瓷腿的一侧与蓝宝石片相互贴合并且紧密接触，各个压电陶瓷腿的另一侧与压电腿底座相互贴合并且紧密接触，通过预紧螺丝调节预紧力大小。

7.根据权利要求6所述的超高真空用精密压电陶瓷摆动台，其特征在于，所述超高真空用精密压电陶瓷摆动台采用无磁材料制成。

8.根据权利要求6所述的超高真空用精密压电陶瓷摆动台，其特征在于：

所述第一导轨体的内侧具有供嵌入导轨保持架的导槽，所述导槽镀有二硫化钼保护层；

所述第二导轨体的内侧具有供嵌入导轨保持架的导槽，所述导槽镀有二硫化钼保护层。

9.根据权利要求8所述的超高真空用精密压电陶瓷摆动台，其特征在于，所述第一导轨体和第二导轨体的导槽均呈V型。

10.根据权利要求6所述的超高真空用精密压电陶瓷摆动台，其特征在于，

所述交叉滚珠导轨的两端端部设有导轨限位螺丝。