[实用新型]超高真空极低温四探针测量装置有效
申请号: | 201921487258.3 | 申请日: | 2019-09-06 |
公开(公告)号: | CN210775555U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 王文杰 | 申请(专利权)人: | 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司 |
主分类号: | G01Q60/00 | 分类号: | G01Q60/00;G01Q30/02;G01Q30/10;G01Q30/16;G01Q70/08 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 张抗震 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴市南湖区亚*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 超高 真空 低温 探针 测量 装置 | ||
本实用新型公开了一种超高真空极低温四探针测量装置,包括底座,所述底座设有螺纹腔和支撑部,螺杆部分内置于所述螺纹腔,所述螺杆的顶部为半球;探针台位于所述底座的上端并且所述底座通过支撑部支撑所述探针台,所述螺杆通过半球与所述探针台接触并且所述螺杆通过旋转使半球顶着探针台旋转,所述探针台的上端安装有四个探针,所述探针用于接触电极并且检测电极的完好性,样品托装置的上端与所述上板架固定连接。本实用新型公开的一种超高真空极低温四探针测量装置,其与显微镜配合使用,加通直流电检测样品的完好性。
技术领域
本实用新型属于探针测量技术领域,具体涉及一种超高真空极低温四探针测量装置。
背景技术
电极是电子或电器装置、设备中的一种部件,用做导电介质(固体、气体、真空或电解质溶液)中输入或导出电流的两个端。输入电流的一极叫阳极或正极,放出电流的一极叫阴极或负极。电极有各种类型,如阴极、阳极、焊接电极、电炉电极等。
电极生产之后需要检测以确保电极的完好性,但是目前市场上缺少在极低温、超高真空环境下一种检测电极完好性并且无损的检测装置。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种超高真空极低温四探针测量装置,其与显微镜配合使用,加通直流电检测样品的完好性。
本实用新型的另一目的在于提供一种超高真空极低温四探针测量装置,其采用扭簧消除螺纹间隙,有复位力。
本实用新型的主要目的在于提供一种超高真空极低温四探针测量装置,其具有限位机构,限制探针台的旋转角度,保护探针。
本实用新型的主要目的在于提供超一种高真空极低温四探针测量装置,其兼容超高真空,超低温环境。
为达到以上目的,本实用新型提供一种超高真空极低温四探针测量装置,包括:
底座,所述底座设有螺纹腔和支撑部;
螺杆,所述螺杆部分内置于所述螺纹腔,所述螺杆的顶部为半球;
探针台,所述探针台位于所述底座的上端并且所述底座通过支撑部支撑所述探针台,所述螺杆通过半球与所述探针台接触并且所述螺杆通过旋转使半球顶着探针台旋转,所述探针台的上端安装有四个探针,所述探针用于接触电极并且检测电极的完好性;
支腿,所述支腿的下端与所述底座通过螺母固定连接,所述支腿的中端设有轴承,所述探针台的侧端连接部内嵌于轴承使所述探针台相对于支腿旋转;
上板架,所述支腿的上端与所述上板架通过螺母固定连接;
样品托装置,所述样品托装置的上端与所述上板架固定连接。
作为上述技术方案的进一步优选的技术方案,所述探针台与所述支腿的中间设有扭簧,所述扭簧安装于所述探针台的侧端连接部,所述扭簧用于消除螺纹间隙。
作为上述技术方案的进一步优选的技术方案,所述样品托装置设有第一样品托和第二样品托,所述第一样品托与所述第二样品托固定连接,所述第一样品托位于所述第二样品托的下方,所述第一样品托位于所述探针的上方。
作为上述技术方案的进一步优选的技术方案,所述第二样品托为带磁力的样品托,所述第二样品托用于增加磁场环境。
作为上述技术方案的进一步优选的技术方案,所述上板架设有铜辫子,所述铜辫子用于传递温度。
作为上述技术方案的进一步优选的技术方案,所述支撑部用于限制所述探针台的旋转角度。
作为上述技术方案的进一步优选的技术方案,超高真空极低温四探针测量装置部分采用无氧铜材质。
附图说明
图1是本实用新型的超高真空极低温四探针测量装置的结构示意图。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司,未经仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921487258.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。