[实用新型]一种真圆度检测用治具

说明书

本实用新型是一种真圆度检测用治具，包括检测工作台，其特征在于，所述检测工作台呈正方形板结构，所述检测工作台的中心设有圆形开口结构，所述圆形开口结构内同轴设有环形检测台，所述环形检测台的外壁与所述圆形开口结构的内壁固接，所述环形检测台低于所述检测工作台的上表面。本实用新型结构设计合理，操作简便，通过设置环形检测台，检测工作台，部件清洗喷砂完毕后，将部件上部扣在环形检测台上，配合检测工作台，检测部件的真圆度，与常规的游标卡尺检测相比，避免了对同一部件进行多次随机多点检测，检测方便有效，提高了检测效率的同时降低了检测误差，进而满足了检测部件的使用需求。

技术领域

本实用新型涉及真圆度检测工具技术领域，尤其涉及一种真圆度检测用治具。

背景技术

半导体设备中有一种氮化钽的物理沉积机台，机台中的部件下部防护罩(LOWERSHILED)因厚度较薄，且上部有一个开口，在清洗喷砂过程中存在变形的情况，因此，需要对清洗喷砂后的部件LOWER SHILED上部进行真圆度检测。但是，常规的检测采用游标卡尺对同一部件进行多次随机多点检测，检测费时费力，检测效率低，同时存在较大的检测误差，无法满足检测部件的使用需求。

发明内容

本实用新型旨在解决现有技术的不足，而提供一种真圆度检测用治具。

本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种真圆度检测用治具，包括检测工作台，其特征在于，所述检测工作台呈正方形板结构，所述检测工作台的四周对应设有若干安装孔，所述安装孔内同轴设有螺栓，所述检测工作台的底部四周设有若干与所述安装孔一一对应的立柱，所述检测工作台通过所述螺栓与所述立柱固接，所述检测工作台的中心设有圆形开口结构，所述圆形开口结构内同轴设有环形检测台，所述环形检测台的外壁与所述圆形开口结构的内壁固接，所述环形检测台低于所述检测工作台的上表面。

所述检测工作台为SUS不锈钢工作台。

所述环形检测台与所述检测工作台为一体结构。

所述立柱的个数为4。

本实用新型的有益效果是：本实用新型结构设计合理，操作简便，通过设置环形检测台，检测工作台，部件清洗喷砂完毕后，将部件上部扣在环形检测台上，配合检测工作台，检测部件的真圆度，与常规的游标卡尺检测相比，避免了对同一部件进行多次随机多点检测，检测方便有效，提高了检测效率的同时降低了检测误差，进而满足了检测部件的使用需求。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的主视图；

图3为本实用新型的俯视图；

图中：1-检测工作台；2-环形检测台；3-螺栓；4-立柱；

以下将结合本实用新型的实施例参照附图进行详细叙述。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明：

如图1-3所示，一种真圆度检测用治具，包括检测工作台1，其特征在于，所述检测工作台1呈正方形板结构，所述检测工作台1的四周对应设有若干安装孔，所述安装孔内同轴设有螺栓3，所述检测工作台1的底部四周设有若干与所述安装孔一一对应的立柱4，所述检测工作台1通过所述螺栓3与所述立柱4固接，所述检测工作台1的中心设有圆形开口结构，所述圆形开口结构内同轴设有环形检测台2，所述环形检测台2的外壁与所述圆形开口结构的内壁固接，所述环形检测台2低于所述检测工作台1的上表面。

作为优选，所述检测工作台1为SUS304不锈钢工作台。

作为优选，所述环形检测台2与所述检测工作台1为一体结构。