[实用新型]一种喷砂保护治具

说明书

本实用新型是一种喷砂保护治具，包括治具主体，其特征在于，所述治具主体呈环形结构设置，所述治具主体的内壁圆固接有内保护挡圈，所述治具主体的外壁固接有外保护挡圈，所述外保护挡圈与所述内保护挡圈同侧设置，所述治具主体上圆周分布有若干固定孔，所述固定孔为通孔结构。本实用新型结构简单，设计合理，通过设置安有内保护挡圈和外保护挡圈的治具主体，喷砂前，使用内六角螺丝将本实用新型固定在部件上部，解决了拆装耗费工时的问题，提高了加工效率，保证了部件在清洗喷砂过程中不会发生形变，在清洗喷砂过程中，同时保护了无需喷砂的部件顶端壁。

技术领域

本实用新型涉及清洗喷砂保护工具技术领域，尤其涉及一种喷砂保护治具。

背景技术

半导体设备中有一种氮化钽的物理沉积机台，机台中的部件下部防护罩(LOWERSHILED)加工过程中，根据不同的需求，对部件表面的粗糙度要求不同，根据粗糙度要求，需要对部件表面进行喷砂处理，使其达到粗糙度要求。部件LOWER SHILED因厚度较薄，且上部有一个开口，导致在清洗喷砂过程中极易变形，因此，在清洗喷砂过程中，部件需采用喷砂保护治具固定在部件上部开口位置，防止变形。然而，现阶段使用的喷砂保护治具结构复杂，拆装耗费工时，直接影响着加工效率。

发明内容

本实用新型旨在解决现有技术的不足，而提供一种喷砂保护治具。

本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种喷砂保护治具，包括治具主体，其特征在于，所述治具主体呈环形结构设置，所述治具主体的内壁圆固接有内保护挡圈，所述治具主体的外壁固接有外保护挡圈，所述外保护挡圈与所述内保护挡圈同侧设置，所述治具主体上圆周分布有若干固定孔，所述固定孔为通孔结构。

作为优选，所述治具主体、所述内保护挡圈和所述外保护挡圈呈一体结构设置。

作为优选，所述治具主体为SUS304不锈钢治具。

作为优选，所述固定孔的个数为8。

本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计合理，通过设置安有内保护挡圈和外保护挡圈的治具主体，喷砂前，使用内六角螺丝将本实用新型固定在部件上部，解决了拆装耗费工时的问题，提高了加工效率，保证了部件在清洗喷砂过程中不会发生形变，在清洗喷砂过程中，同时保护了无需喷砂的部件顶端壁。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的主视图；

图中：1-治具主体；2-内保护挡圈；3-外保护挡圈；4-固定孔；

以下将结合本实用新型的实施例参照附图进行详细叙述。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明：

如图1和图2所示，一种喷砂保护治具，包括治具主体1，其特征在于，所述治具主体1呈环形结构设置，所述治具主体1的内壁圆固接有内保护挡圈2，所述治具主体1的外壁固接有外保护挡圈3，所述外保护挡圈3与所述内保护挡圈2同侧设置，所述治具主体1上圆周分布有若干固定孔4，所述固定孔4为通孔结构。

作为优选，所述治具主体1、所述内保护挡圈2和所述外保护挡圈3呈一体结构设置。

作为优选，所述治具主体1为SUS304不锈钢治具。

作为优选，所述固定孔4的个数为8。