[实用新型]一种新型平行光曝光装置

说明书

一种新型平行光曝光装置，其包括机台、光源机构和冷却机构，所述光源机构和冷却机构均设置在机台内，所述机台的顶部为玻璃曝光台，且所述玻璃曝光台上设置有密封盖，所述密封盖与机台相铰接，且密封盖盖合在玻璃曝光台上形成用于容纳菲林片和感光物载体的曝光空腔，所述光源机构与玻璃曝光台相对应，所述冷却机构与光源机构相连接，冷却机构将光源机构产生的热量排出机台外，所述机台内设置有移动机构，移动机构设置在玻璃曝光台的下方，光源机构设置在移动机构上，所述光源机构与移动机构活动连接。

技术领域

本实用新型涉及曝光技术领域，特别涉及一种平行光曝光装置。

背景技术

曝光机属于精密光刻成像装置，是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。紫外曝光机，也称光刻机、掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，其主要性能指标有：支持基片的尺寸范围，分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。

现有技术公开了一种LED平行曝光机(申请号：201520298703.7)，该LED平行曝光机包括有曝光源、灯架、底箱、机壳和控制终端，所述机壳内部为LED平行曝光机的曝光室；所述底箱上部为LED平行曝光机的曝光平台；所述曝光平台上平行设置有多组托架，托架上为固定有被加工物；多组托架在LED平行曝光机的动力系统的作用下可以交换进出曝光室；所述底箱上部还设置有曝光源，曝光源的光向上照射。所述曝光源为LED灯，功率为1KW，LED灯呈矩形排列，60×40个，横纵间距均为2CM。有益效果在于：本实用新型采用LED灯，功率小，发热少，省去了以前必须的冷却机构，缩小了产品的体积，减少了成本。

但，现有的曝光机在一般都存在以下缺点：

1、现有的曝光装置不论是普通漫反射光源型式的还是菲涅尔透镜平行光光源型式的，其曝光灯与被曝光物之间的距离都是固定的，灯源工作时是对曝光装置的整个曝光台面同时作用的，所以被曝光物面积大小不一样时也需要用相同的曝光时间来曝光；

2、光源的供电装置为电感线圈绕组式变压器且功率不可调；

3、曝光灯中心的光能量总是比周边的光能量强，所以被曝光的物体所接收到的光能量总是不均匀的；

4、曝光灯工作时大部分电能转化成了热能，所以整个曝光室和曝光台面在曝光灯工作时温度会大幅升高，这时就需要一个强力的冷却装置对整个曝光室和曝光台面进行冷却，因为曝光室和曝光台面空间较大，难以做到对曝光台面每个区域进行均匀降温，造成曝光台上的菲林片因受热过热或受热不均匀而出现胀缩，造成菲林片上的图像发生变形，这样被曝光物体上形成的图像就会和原稿的不一样，不能保证曝光过程的良品率。

发明内容

针对上述技术中存在的不足之处，本实用新型的目的是提供一种新型平行光曝光装置，该装置的光源以类似扫描方式在导轨上匀速移动对曝光台面上的被曝光物体进行曝光，可以根据需要曝光的尺寸大小调节灯箱的扫描距离，调整曝光时间，提高曝光效率，灯箱中的灯源与菲涅尔透镜结合使用，使抵达曝光台面上的光线平行，提高了曝光能量分布的均匀性。

本实用新型的另一个目的是提供一种新型平行光曝光装置，该装置可以针对性地对曝光时的受热区域进行冷却，解决了菲林片在曝光过程中因受热过热或受热不均匀而出现胀缩问题；且该装置的结构简单、使用效果好。

为实现上述目的，本实用新型是这样实现的：