[实用新型]一种硅片缓存盒及分片机的运输装置有效
申请号: | 201921495238.0 | 申请日: | 2019-09-09 |
公开(公告)号: | CN210403680U | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 曹俊楠;张建峰;王森;洪亚军;朱文荣;曹祥 | 申请(专利权)人: | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 224431 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 缓存 分片 运输 装置 | ||
本实用新型公开了一种硅片缓存盒及分片机的硅片运输机构,该硅片缓存盒包括盒体、规整组件和风刀,盒体被配置为容纳硅片,规整组件包括驱动件和规整件,规整件为两个,两个规整件分别连接在盒体的相对两个侧壁上,驱动件被配置为驱动两个规整件朝向彼此的方向运动以规整硅片,风刀连接在盒体或者规整件上,风刀具有风孔,风孔被配置朝向硅片吹气。本实用新型的硅片缓存盒,由于在容纳硅片的盒体上设置了规整组件和风刀,在机械臂将硅片放置在盒体内后,规整组件能够规整硅片,风刀能够去除硅片上残留的水分,较好地避免了硅片歪斜及硅片打滑导致的硅片堵片或者碎片的现象。
技术领域
本实用新型涉及光伏设备技术领域,尤其涉及一种硅片缓存盒及分片机的运输装置。
背景技术
现有技术的分片机在工作过程中,机械臂吸盘吸片后直接插入缓存盒内,吸盘在缓存盒内破真空后,吸盘退出,缓存盒逐次下降出片。但是因单面制绒工艺特殊性,硅片表面有水,从而传输时硅片与皮带的摩擦力小,易导致传输硅片时堵片以及碎片。此外,机械臂吸盘吸片插入缓存盒时,由于缓存盒的宽度大于硅片的宽度,这样可能导致硅片在缓存盒内容易发生歪斜,从而导致传输硅片时发生堵片现象。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种硅片缓存盒,该硅片缓存盒能够规整及吹干硅片,从而较好地避免因硅片上残留水分以及硅片歪斜导致的堵片、碎片现象。
本实用新型的另一个目的在于提出一种分片机的运输装置,该分片机的运输装置能够较好地避免堵片、碎片几率,降低返工率,提高工作效率。
为实现上述技术效果,本实用新型的技术方案如下:
一种硅片缓存盒,包括:盒体,所述盒体被配置为容纳硅片;规整组件,所述规整组件包括驱动件和规整件,所述规整件为两个,两个所述规整件分别连接在所述盒体的相对的侧壁上,所述驱动件被配置为驱动两个所述规整件朝向彼此的方向运动以规整所述硅片;风刀,所述风刀连接在所述盒体或者所述规整件上,所述风刀具有风孔,所述风孔被配置为朝向所述硅片吹气。
在一些实施例中,所述盒体为开口向下的U型结构,所述盒体的两个相对侧壁上分别对应设置有多个分片块,多个所述分片块沿上下方向均匀分布,所述盒体的两个相对设置的对应设置的两个所述分片块共同支撑一个所述硅片。
在一些实施例中,所述驱动件包括两个驱动气缸,两个所述驱动气缸连接在所述盒体的封闭端,每个驱动气缸的活塞杆与一个所述规整件相连。
在一些具体的实施例中,每个所述规整件均包括:连接部,所述连接部连接在所述活塞杆上;规整部,所述规整部的一端连接在所述连接部上,所述规整部沿上下方向延伸且平行设置于所述盒体的侧壁。
在一些实施例中,所述风孔为多个,多个所述风孔沿上下方向均匀间隔分布。
在一些实施例中,其中一个所述规整件为所述风刀。
在一些实施例中,所述规整件上设有缓冲层,当两个所述规整件规整硅片时,所述缓冲层止抵在所述硅片上。
一种分片机的运输装置,包括:前文所述的硅片缓存盒,所述硅片缓存盒的所述盒体为开口向下的U型;运输机构,所述运输机构设在所述盒体的开口端,所述运输机构被配置为输送所述硅片;升降机构,所述升降机构与所述硅片缓存盒相连以驱动所述硅片缓存盒沿上下方向运动。
在一些实施例中,所述运输机构为传送带。
在一些实施例中,所述升降机构包括:固定架;丝杠,所述丝杠连接在所述固定架上;螺母,所述螺母配合在所述丝杠上且与所述硅片缓存盒的相连;驱动源,所述驱动源与所述丝杠相连以驱动所述丝杠转动。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司,未经盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921495238.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种空气源热泵多级加热装置
- 下一篇:一种土木工程建筑施工用支架
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造