[实用新型]一种循环槽

权利要求书

1.一种循环槽，包括槽体，其特征是，所述槽体的底部通过隔板（34）分割为阳极循环区（29）、蚀刻循环区（30）和阴极循环区，其中蚀刻循环区（30）和阳极循环区顶部相通；所述阴极循环区又分为阴极循环区主槽（31）和阴极循环区副槽（32）；所述阳极循环区（29）和阴极循环区顶部分别设有排气管，所述阳极循环区（29）、蚀刻循环区（30）和阴极循环区的侧壁上分别设有多个进液管和出液管，用于与外部设备循环；所述阳极循环区（29）、蚀刻循环区（30）和阴极循环区内分别设有液位控制器，所述阳极循环区（29）和阴极循环区主槽（31）上设有比重取样盒；所述蚀刻循环区（30）设有ORP检测器（25），所述阴极循环区内布置有冷却管（37）和温度检测器（36）。

2.根据权利要求1所述循环槽，其特征是，所述阳极循环区（29）和蚀刻循环区（30）的隔板底部设有多个连通孔（35）。

3.根据权利要求2所述循环槽，其特征是，所述连通孔（35）的设置高度为从槽体的底部以上150-200mm的高度位置。

4.根据权利要求1所述循环槽，其特征是，所述阳极循环区（29）、蚀刻循环区（30）和阴极循环区顶部分别设有观察窗口。

5.根据权利要求1所述循环槽，其特征是，所述阳极循环区（29）、蚀刻循环区（30）和阴极循环区的侧壁上分别设有泄压管。