[实用新型]一种加热器支撑基体及加热器有效

专利信息
申请号: 201921502345.1 申请日: 2019-09-10
公开(公告)号: CN211047255U 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 何军舫 申请(专利权)人: 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇(天津)半导体材料有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司
主分类号: H05B3/06 分类号: H05B3/06
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 郑久兴
地址: 101101*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 加热器 支撑 基体
【说明书】:

一种加热器支撑基体及加热器,其中,所述加热器支撑基体的表面形成有第一区域(1)和第二区域(2);所述第一区域(1)的粗糙度大于所述第二区域(2)。所述加热器有导电区域和绝缘区域;加热器支撑基体的第一区域(1)覆盖导电材料层形成导电区域,第二区域(2)没有覆盖导电材料层,是绝缘区域。通过对加热器支撑基体的第一区域(1)和第二区域(2)进行表面粗糙度的精细控制,在导电材料层沉积在加热器支撑基体表面上后,导电区域上的导电材料紧密的附着在第一区域上,绝缘区域上的导电材料可以实现自然脱落或通过小刀等简易工具去除,操做简单,图案美观,且导电材料层边缘齐整,不起层,使加热器的成品率高,增加经济效益。

技术领域

实用新型涉及加热器技术领域,特别涉及一种加热器支撑基体及加热器。

背景技术

现有的加热器一般由在支撑基材上沉积一层热解石墨,(之后)对热解石墨进行雕刻,做出图案,但是在热解石墨表面加工(花纹)形成图案时极容易引起留在支撑基材表面的热解石墨的边缘起层,这种情况的出现会导致整支加热器的报废。

实用新型内容

(一)实用新型目的

本实用新型的目的是提供一种使加热器成品率更高的加热器支撑基体及加热器。

(二)技术方案

为解决上述问题,本实用新型的第一方面提供了一种加热器支撑基体,所述加热器支撑基体的表面形成有第一区域1和第二区域2;所述第一区域1的粗糙度大于所述第二区域2。

进一步地,所述第一区域1的粗糙度为1.0~6.0μm。

进一步地,所述第二区域2的粗糙度≤0.5μm。

进一步地,所述第一区域1和所述第二区域2不在同一平面。

进一步地,所述第二区域2凸出于所述第一区域1。

进一步地,所述加热器支撑基体为圆筒状;所述第一区域1和所述第二区域2设置于所述加热器支撑基体的外表面。

进一步地,所述第一区域1为连续的整片区域。

本实用新型的另一方面提供了一种加热器,包括上述加热器支撑基体,还包括在加热器支撑基体表面依次设置的导电材料层和绝缘层;所述导电材料层覆盖于所述第一区域1上。

进一步地,所述导电材料层由热解石墨制成。

进一步地,所述导电材料层的厚度为10~300μm。

(三)有益效果

本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果:

通过对加热器支撑基体的第一区域和第二区域进行表面粗糙度的精细控制,在导电材料层沉积在加热器支撑基体表面上后,导电区域上的导电材料紧密的附着在第一区域上,绝缘区域上的导电材料可以实现自然脱落或通过小刀等简易工具去除,操做简单,图案美观,且导电材料层边缘齐整,不起层,使加热器的成品率高,增加经济效益。

附图说明

图1是本实用新型实施例1的加热器支撑基体的结构示意图;

图2是本实用新型实施例2的加热器的结构示意图;

图3是本实用新型实施例3的加热器的结构示意图。

附图标记:

1:第一区域;2:第二区域。

具体实施方式

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