[实用新型]具有石材支架的光刻设备

权利要求书

1.一种具有石材支架的光刻设备，所述光刻设备包括：传输机构、投影机构和机箱，所述传输机构和所述投影机构都位于所述机箱的内部，所述传输机构从所述机箱的前端延伸至后端，所述投影机构位于所述机箱的后端；其特征在于：所述投影机构包括：多个投射光源和支架，所述投射光源固定在所述支架的上端，多个投射光源呈矩阵式排列，所述支架由石材形成。

2.根据权利要求1所述的具有石材支架的光刻设备，其特征在于：所述支架的下端具有两个支撑脚，所述支架的上端具有支撑面板，所述支撑脚与所述支撑面板之间具有连接板，所述连接板的宽度小于所述支撑脚的宽度。

3.根据权利要求2所述的具有石材支架的光刻设备，其特征在于：所述投影机构还包括：多个挂板，所述支撑面板上具有开口，所述开口中具有多个支撑筋条，多个支撑筋条相互平行，所述挂板的上端与所述支撑筋条形成固定，下端与所述投射光源形成固定。

4.根据权利要求1所述的具有石材支架的光刻设备，其特征在于：所述光刻设备还包括：两个挡光布，所述挡光布位于所述机箱的内部，一个挡光布位于所述投影机构的前侧，另一个挡光布位于所述投影机构的后侧。

5.根据权利要求1所述的具有石材支架的光刻设备，其特征在于：所述光刻设备还包括：两个排线槽，两个排线槽分别位于所述投影机构的左侧和右侧。