[实用新型]用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置有效
申请号: | 201921505840.8 | 申请日: | 2019-09-11 |
公开(公告)号: | CN210886320U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 王松涛;孙金召;吴继伟;冯冰冰 | 申请(专利权)人: | 麦斯克电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 李真真 |
地址: | 471000 河南省洛*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 单晶炉 防爆 安全 装置 | ||
1.用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置,包括防爆管道(1)、相配合地设在防爆管道(1)顶部的防爆盖(2),其特征在于:所述防爆盖(2)的上方设置相配合的防爆罩(3),气流通过防爆罩(3)内延向下泄流,所述防爆罩(3)上均匀开设有若干定位孔(4),定位孔(4)处分别设有贯穿的防脱落螺丝(5),防脱落螺丝(5)固定防爆罩(3)于防爆盖(2)上方,使得大气流或热态挥发物瞬间冲出防爆盖(2)后顺着防爆罩(3)内壁向下泄压;
所述防脱落螺丝(5)表面的外螺纹为大螺纹和小螺纹间隔分布,所述防爆盖(2)的下方在防爆管道(1)内设置定位板(6),定位板(6)上对应防脱落螺丝(5)位置的通孔(7)内表面设有与大螺纹相配合的内螺纹,定位板(6)上其余位置为方便泄压的中空结构。
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置,其特征在于:所述防爆罩(3)的罩口朝下,防爆罩(3)罩口的内径大于防爆盖(2)盖口的内径。
3.根据权利要求1所述的用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置,其特征在于:所述防脱落螺丝(5)为加长塞打螺丝。
4.根据权利要求1所述的用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置,其特征在于:所述防脱落螺丝(5)穿过防爆罩(3)和防爆盖(2)且拧紧在定位板(6)的通孔(7)内。
5.根据权利要求1所述的用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置,其特征在于:所述定位孔(4)、防脱落螺丝(5)的个数均为4个。
6.根据权利要求1所述的用于单晶炉的防爆盖安全泄压装置,其特征在于:所述定位孔(4)分别对称分布在防爆罩(3)上表面上。
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