[实用新型]分组控制石墨舟吸盘装置

说明书

本实用新型涉及硅片制造领域，公开了一种分组控制石墨舟吸盘装置，包括多个吸盘组件和将多个吸盘组件连接在一起的紧固装置；所述紧固装置包括紧固板、紧固杆和安装板；所述吸盘组件和紧固板均安装在安装板上；所述多个吸盘组件和紧固板通过紧固杆串连成一个整体；所述吸盘组件上设置有三个吸气孔和与吸气孔连接的吸盘；所述紧固板上设置有三个吸嘴；每个吸嘴互相独立，三个吸嘴分别与相邻的吸盘组件的三个吸气孔连通。该装置一共三组吸盘，每组吸盘均通过单独的吸嘴进行吸真空，实现了每组吸盘的单独控制，并可分别调节真空压力，设备工作时三组吸盘依次吸真空，设备移动时三组吸盘同时吸真空。

技术领域

本实用新型涉及一种光伏硅片抓取装置，特别涉及一种分组控制石墨舟吸盘装置。

背景技术

硅片在加工过程中需要先将硅片插入至石墨舟上，加工完成后再将硅片自石墨舟上将硅片去除，现有的石墨舟硅片吸取装置的整个吸盘采用一条气路，容易破真空，对吸盘平面度要求较高，所有吸盘需要同时工作，容易产生隐裂等不良。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种分组控制石墨舟吸盘装置，多组吸盘单独控制，提高石墨舟吸盘装置的可控性，不易破真空。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种分组控制石墨舟吸盘装置，包括多个吸盘组件和将多个吸盘组件连接在一起的紧固装置；所述紧固装置包括紧固板、紧固杆和安装板；所述吸盘组件和紧固板均安装在安装板上；所述多个吸盘组件和紧固板通过紧固杆串连成一个整体；所述吸盘组件上设置有三个吸气孔和与吸气孔连接的吸盘；所述紧固板上设置有三个吸嘴；每个吸嘴互相独立，三个吸嘴分别与相邻的吸盘组件的三个吸气孔连通。该装置一共三组吸盘，每组吸盘均通过单独的吸嘴进行吸真空，实现了每组吸盘的单独控制，并可分别调节真空压力，设备工作时三组吸盘依次吸附硅片，设备移动时三组吸盘同时吸真空。

进一步的是：所述吸盘组件包括连接板和连接于连接板下部的基板。连接板用于与其他吸盘组件或者紧固板连接，基板用于吸附硅片。

进一步的是：所述连接板上设置有穿设紧固杆的连接孔；所述连接板上还设置有三个贯穿连接板的吸气孔。多个吸盘组件拼接在一起时，三组吸气孔分别连通，每组吸气孔内的真空气压可单独控制，提高该装置的可控性。

进一步的是：所述基板上设置有三个安装槽，每个安装槽内均设置有一个吸盘；所述吸盘通过弹簧与基板连接；所述吸盘与吸气孔之间连接有真空管。真空管将吸盘与吸气孔连通，通过吸气孔控制吸盘的真空压力。

进一步的是：所述安装板长度方向的两端各设置有一个紧固板；所述多个吸盘组件的连接板安装在安装板上；所述多个吸盘组件的连接板位于两块紧固板之间并紧密贴合。

进一步的是：所述紧固杆穿过紧固板和连接板并通过紧固杆两端螺母将紧固板和连接板串连起来并锁紧。紧固杆两端设置螺纹，通过螺母将紧固板和吸盘组件的连接板锁紧。

附图说明

图1为分组控制石墨舟吸盘装置结构示意图；

图2为吸盘组件结构示意图。

图中标记为：100、吸盘组件；110、连接板；111、连接孔；112、吸气孔；120、基板；121、吸盘；122、弹簧；130、真空管；200、紧固板；210、紧固杆；220、吸嘴；300、安装板。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。