[实用新型]分组控制石墨舟吸盘装置有效

专利信息
申请号: 201921506571.7 申请日: 2019-09-11
公开(公告)号: CN210403690U 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 姜明 申请(专利权)人: 苏州诚拓机械设备有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙) 32367 代理人: 李阳
地址: 215000 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 分组 控制 石墨 吸盘 装置
【说明书】:

实用新型涉及硅片制造领域,公开了一种分组控制石墨舟吸盘装置,包括多个吸盘组件和将多个吸盘组件连接在一起的紧固装置;所述紧固装置包括紧固板、紧固杆和安装板;所述吸盘组件和紧固板均安装在安装板上;所述多个吸盘组件和紧固板通过紧固杆串连成一个整体;所述吸盘组件上设置有三个吸气孔和与吸气孔连接的吸盘;所述紧固板上设置有三个吸嘴;每个吸嘴互相独立,三个吸嘴分别与相邻的吸盘组件的三个吸气孔连通。该装置一共三组吸盘,每组吸盘均通过单独的吸嘴进行吸真空,实现了每组吸盘的单独控制,并可分别调节真空压力,设备工作时三组吸盘依次吸真空,设备移动时三组吸盘同时吸真空。

技术领域

本实用新型涉及一种光伏硅片抓取装置,特别涉及一种分组控制石墨舟吸盘装置。

背景技术

硅片在加工过程中需要先将硅片插入至石墨舟上,加工完成后再将硅片自石墨舟上将硅片去除,现有的石墨舟硅片吸取装置的整个吸盘采用一条气路,容易破真空,对吸盘平面度要求较高,所有吸盘需要同时工作,容易产生隐裂等不良。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种分组控制石墨舟吸盘装置,多组吸盘单独控制,提高石墨舟吸盘装置的可控性,不易破真空。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种分组控制石墨舟吸盘装置,包括多个吸盘组件和将多个吸盘组件连接在一起的紧固装置;所述紧固装置包括紧固板、紧固杆和安装板;所述吸盘组件和紧固板均安装在安装板上;所述多个吸盘组件和紧固板通过紧固杆串连成一个整体;所述吸盘组件上设置有三个吸气孔和与吸气孔连接的吸盘;所述紧固板上设置有三个吸嘴;每个吸嘴互相独立,三个吸嘴分别与相邻的吸盘组件的三个吸气孔连通。该装置一共三组吸盘,每组吸盘均通过单独的吸嘴进行吸真空,实现了每组吸盘的单独控制,并可分别调节真空压力,设备工作时三组吸盘依次吸附硅片,设备移动时三组吸盘同时吸真空。

进一步的是:所述吸盘组件包括连接板和连接于连接板下部的基板。连接板用于与其他吸盘组件或者紧固板连接,基板用于吸附硅片。

进一步的是:所述连接板上设置有穿设紧固杆的连接孔;所述连接板上还设置有三个贯穿连接板的吸气孔。多个吸盘组件拼接在一起时,三组吸气孔分别连通,每组吸气孔内的真空气压可单独控制,提高该装置的可控性。

进一步的是:所述基板上设置有三个安装槽,每个安装槽内均设置有一个吸盘;所述吸盘通过弹簧与基板连接;所述吸盘与吸气孔之间连接有真空管。真空管将吸盘与吸气孔连通,通过吸气孔控制吸盘的真空压力。

进一步的是:所述安装板长度方向的两端各设置有一个紧固板;所述多个吸盘组件的连接板安装在安装板上;所述多个吸盘组件的连接板位于两块紧固板之间并紧密贴合。

进一步的是:所述紧固杆穿过紧固板和连接板并通过紧固杆两端螺母将紧固板和连接板串连起来并锁紧。紧固杆两端设置螺纹,通过螺母将紧固板和吸盘组件的连接板锁紧。

附图说明

图1为分组控制石墨舟吸盘装置结构示意图;

图2为吸盘组件结构示意图。

图中标记为:100、吸盘组件;110、连接板;111、连接孔;112、吸气孔;120、基板;121、吸盘;122、弹簧;130、真空管;200、紧固板;210、紧固杆;220、吸嘴;300、安装板。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州诚拓机械设备有限公司,未经苏州诚拓机械设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921506571.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top