[实用新型]一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤装置

说明书

本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其涉及一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤装置，其特征在于：所述过滤装置设置在原子层沉积真空腔体与用于抽吸所述原子层沉积真空腔体内工艺残余气体的真空干泵之间；所述过滤装置至少包括冷凝过滤装置以及反应过滤装置，所述冷凝过滤装置的入口与所述原子层沉积真空腔体相连接，出口与所述反应过滤装置的入口相连接，所述反应过滤装置的出口与所述真空干泵相连接。本实用新型的优点是：1)可实现过滤99%的原子层沉积残余工艺气体；2)大大的减少粉尘进入到干泵中，延长干泵的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其涉及一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤装置。

背景技术

延长原子层沉积设备的干泵使用寿命，减少更多的粉尘进入到泵口是原子层沉积设备的工艺残余气体处理的一个目标。

对于原子层沉积设备，目前采用的工艺源多数与水会发生反应。而大部分的设备供应商缺少对原子层沉积设备残余工艺气体的过滤装置，大部分的工艺残余会在管道内或者泵内冷凝成膜，变成粉尘。由于原子层沉积设备用泵容纳粉尘的量有限，这样就会导致原子层沉积设备用干泵寿命大大缩短，未过滤的残余工艺气体随后在泵口的排出也增加了后续的尾气处理装置的工作负担。

发明内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤装置，通过在原子层沉积真空腔体与真空干泵之间设置过滤装置，以减少残余工艺气体进入真空干泵之中，提高真空干泵使用寿命。

本实用新型目的实现由以下技术方案完成：

一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤装置，其特征在于：所述过滤装置设置在原子层沉积真空腔体与用于抽吸所述原子层沉积真空腔体内工艺残余气体的真空干泵之间；所述过滤装置至少包括冷凝过滤装置以及反应过滤装置，所述冷凝过滤装置的入口与所述原子层沉积真空腔体相连接，出口与所述反应过滤装置的入口相连接，所述反应过滤装置的出口与所述真空干泵相连接。

所述冷凝过滤装置指的是真空冷凝罐，所述真空冷凝罐内设置有多重导流板构成气体通路，所述多重导流板相互交错布置。

所述反应过滤装置指的是真空过滤罐，所述真空过滤罐连接有水补充罐，所述真空过滤罐内部设置有粉尘过滤器；所述水补充罐所提供的水蒸气与所述工艺残余气体在所述粉尘过滤器表面发生反应并生成于其表面。

所述粉尘过滤器连接有旋转驱动装置，所述粉尘过滤器可通过旋转驱动装置的驱动在所述真空过滤罐内部旋转；在所述真空过滤罐的侧壁上设置有粉尘刮板，所述粉尘刮板朝向所述粉尘过滤器。

本实用新型的优点是：1)可实现过滤99%的原子层沉积残余工艺气体；2)大大的减少粉尘进入到干泵中，延长干泵的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的系统构成图。

具体实施方式

以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：

如图1所示，图中标记1-11分别表示为：真空冷凝罐1、真空过滤罐2、粉尘过滤器3、导流板4、水补充罐5、粉尘刮板6、粉尘过滤器电机7、原子层沉积真空腔体8、真空干泵9、真空连接管道10、真空连接管道11。

实施例：如图1所示，本实施例中的原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤装置设置在原子层沉积真空腔体8和真空干泵9之间，以过滤从原子层沉积真空腔体8排出的残余工艺气体，避免大量残余工艺气体进入真空干泵9之中而导致其寿命的缩短。

如图1所示，自原子层沉积真空腔体8一侧出口设置有真空连接管道10，真空连接管道10将原子层沉积真空腔体8内的工艺气体通入作为真空冷凝罐1之中先进行冷凝过滤。