[实用新型]活动炉门密封结构

说明书

本实用新型公开了一种活动炉门密封结构，包括：X向导轨模组，提供炉口进出方向的导引；Y向导轨模组，为水平方向的导轨模组，该水平方向与所述进出方向垂直，并用于对X向导轨模组导向；架体，安装在X向导轨模组的X向滑座上；联结板，安装在架体上，且该联结板为竖向的簧板；轴承座，在簧板的上下两端各有一个；连接轴，通过关节轴承一一对应地安装在相应轴承座上，并向炉口悬伸；以及炉门，固定安装在连接轴上。依据本实用新型的活动炉门密封结构易于实现可靠密封。

技术领域

本实用新型涉及一种活动炉门密封结构。

背景技术

随着第三代半导体、新材料产业产业大发展，如氮化镓、石墨烯等材料，其在应用端已经十分成熟，可应用于显示、激光投影、照明、电工电子、宇航和航天等领域，但是原材料制备成本高昂成为限制其快速推广应用的重大障碍，因此提高生产效率、提高生产质量，提高设备自动化水平从而降低成本成为此类装备发展的重要方向。

炉门重量通常与其尺寸正相关，较大尺寸的炉门必然具有较大的重量，其在开合过程中，因其重量偏大，对支撑其的支撑结构会产生较大的弯矩，而导致支撑结构产生变形，导致炉门无法对正，需要经过多次调整调试，否则容易密封失败。在此过程中不可避免的会造成炉门开关速度偏低，一些尺寸较大的炉门，其开关一次炉门往往需要3min以上。因此炉门结构在密封的过程中最优的策略是能够自动找正。另外，目前应对特殊大尺寸炉门，尤其是竖向安装的炉门，普遍采用类似插板阀结构，该结构复杂且制造和维修成本高昂，迫切需要寻找一种低成本结构。

推拉门和插板阀结构的炉门最大的问题是门板或者插板阀到位后，并不能单独形成对炉口的密封，还需要在进出门的方向上有一定的运动量才能够实现较好的密封，在此条件下实现起来相对困难。

中国专利文献CN201873750U公开了一种PECVD设备新型开关炉门，其提供了一种普通旋转式PECVD设备开关炉门结构，一种间接旋转方式PECVD设备开关炉门，并进一步提出一种PECVD设备新型开关炉门，其中后者炉门由无杆气缸进行驱动，在驱动的方向上布设导轨，无杆气缸驱动一运动臂，运动臂通过关节轴承装设炉门，从而在运动臂携带炉门到位后，通过关节轴承可调整炉门与炉体间的同轴度，换言之，该种结构易于实现炉门与炉体间精准的同轴度，但其欠缺炉门法向的活动量，如何实现相对可靠地密封相对困难。

中国专利文献CN109373763A公开了一种用于扩散炉的炉门结构，其提供了一种炉门连接杆，炉门连接杆通过滑轨导引，因此其整体上相当于推拉门。在炉门连接杆的端部安装有支撑板，炉门门体通过弹性螺栓安装在炉门连接杆上，所谓弹性螺栓，其整体上相当于弹性导柱，炉门门体通过炉门连接杆推进到位后，弹性螺栓推动炉门门体在其法向运动，从而可以压紧在炉门上。由此可以理解的是，在炉门门体未到位前，弹性螺栓应处于压缩状态，由于其没有公开如何实现弹性螺栓处于压缩状态，应是在炉门门体推进过程中被炉体所抵压，即炉体门体与炉体间处于摩擦状态，而影响其使用寿命，并会产生较大噪声。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种易于实现可靠密封的活动炉门密封结构，且该活动炉门密封结构适于快速开关炉门。

在本实用新型的实施例中，提供一种活动炉门密封结构，包括：

X向导轨模组，提供炉口进出方向的导引；

Y向导轨模组，为水平方向的导轨模组，该水平方向与所述进出方向垂直，并用于对X向导轨模组导向；

架体，安装在X向导轨模组的X向滑座上；

联结板，安装在架体上，且该联结板为竖向的簧板；

轴承座，在簧板的上下两端各有一个；

连接轴，通过关节轴承一一对应地安装在相应轴承座上，并向炉口悬伸；以及

炉门，固定安装在连接轴上。