[实用新型]一种多焦点激光清洗装置

权利要求书

1.一种多焦点激光清洗装置，其特征在于：包括激光光源（1）、激光束（2）、振镜光路系统（3）、光束整形系统（4）、工作台（5）和待清洗试验板（7），所述待清洗试验板（7）放置于工作台（5）上，实现激光路径扫描的振镜光路系统（3）和实现光斑的串联排列的光束整形系统（4）设置于工作台（5）的正上方，激光光源（1）设置于振镜光路系统（3）的一侧，激光光源（1）发射出激光束（2），所述振镜光路系统（3）包括振镜和扫描驱动系统，所述光束整形系统（4）包括激光扩束模块、激光聚焦模块和多焦点衍射光学元件。

2.根据权利要求1所述的一种多焦点激光清洗装置，其特征在于：所述激光光源（1）采用飞秒激光发射器，通过支撑架固定于工作台（5）上方，其中飞秒激光发射器使用的脉冲宽度为400fs-700fs。

3.根据权利要求1所述的一种多焦点激光清洗装置，其特征在于：所述激光束（2）是由激光光源（1）发射出的1064nm波长的激光束。

4.根据权利要求1所述的一种多焦点激光清洗装置，其特征在于：所述工作台（5）采用两维位移工作台，用于承载和移动待清洗试验板（7）。

5.根据权利要求1所述的一种多焦点激光清洗装置，其特征在于：所述振镜光路系统（3）还包括Y轴方向电机（31），X轴方向电机（32），聚焦透镜（33），可移动透镜（34），所述激光束（2）穿过可移动透镜（34）到达聚焦透镜（33），在X轴方向电机（32）和Y轴方向电机（31）控制下进行激光位置的调整。