[实用新型]低温等离子体平板式往复智能化处理设备

权利要求书

1.低温等离子体平板式往复智能化处理设备，包括柜体(1)和放电平板(6)，其特征在于：所述柜体(1)内设有等离子电源(2)和旋涡风机，所述柜体(1)上设有控制面板(3)，所述柜体(1)顶部设有往复运动组件，所述往复运动组件与放电平板(6)之间相连接，所述放电平板(6)内部开有若干方形槽(16)，所述方形槽(16)之间通过方形隧道(18)连接，所述放电平板(6)底部连通有抽气道(12)，所述抽气道(12)上设有软管接头(13)，所述软管接头(13)通过软管与旋涡风机相连接，所述柜体(1)顶部设有放电电极总成(8)，所述放电平板(6)位于放电电极总成(8)下方，所述柜体(1)顶部设有限位传感器(4)，所述限位传感器(4)与放电平板(6)相对应。

2.根据权利要求1所述的低温等离子体平板式往复智能化处理设备，其特征在于：所述往复运动组件包括步进马达(11)，所述步进马达(11)输出端连接有主动轮，所述主动轮通过传送带(9)连接有从动轮(10)，所述放电平板(6)底部固定连接有固定夹(14)，所述固定夹(14)与传送带(9)相配合。

3.根据权利要求2所述的低温等离子体平板式往复智能化处理设备，其特征在于：所述往复运动组件还包括两组导轨(5)，两组所述导轨(5)上均滑动连接有两组滑块(15)，四组所述滑块(15)分别与放电平板(6)底部四角处固定连接。

4.根据权利要求2所述的低温等离子体平板式往复智能化处理设备，其特征在于：所述控制面板(3)控制连接旋涡风机、放电电极总成(8)和步进马达(11)。

5.根据权利要求1所述的低温等离子体平板式往复智能化处理设备，其特征在于：所述放电电极总成(8)外侧设有电机排风系统(7)。

6.根据权利要求1所述的低温等离子体平板式往复智能化处理设备，其特征在于：每组所述方形槽(16)内开有若干阵列小孔(17)，所述小孔(17)通往放电平板(6)上端。