[实用新型]一种全自动IC平面固晶机的进料机构有效
申请号: | 201921540251.3 | 申请日: | 2019-09-16 |
公开(公告)号: | CN210429752U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 胡新荣;梁志宏;胡新平;陈玮麟 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L33/00 |
代理公司: | 深圳市中联专利代理有限公司 44274 | 代理人: | 朱以智 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 全自动 ic 平面 固晶机 进料 机构 | ||
1.一种全自动IC平面固晶机的进料机构,其特征在于,包括:
一料盒上料机构(1),其包括有料盒存放组件(1-1)、料盒驱动组件(1-2)以及支架推杆组件,所述料盒存放组件(1-1)设置有两层平台,其上层平台和下层平台分别为送料盒部和回收料盒部,所述料盒驱动组件(1-2)设置在所述料盒存放组件(1-1)的料盒行程方向的一侧,其上设置有X轴向驱动机构以及Z轴向驱动机构,所述Z轴向驱动机构设有用于接驳料盒(13)且能够带动所述料盒(13)升降的接驳架(27),所述支架推杆组件(22)装设于所述X轴向驱动机构的一侧,其上设置有能够将所述料盒(13)内腔存储的支架推出所述料盒(13)的推送机构;
一支架上料机构(2),设置在所述料盒上料机构(1)的进料工位上方,其上设置有用于将所述支架吸取的吸取组件以及驱动所述吸取组件带动支架移动至上料工位的支架驱动机构。
2.根据权利要求1所述的一种全自动IC平面固晶机的进料机构,其特征在于,所述料盒存放组件(1-1)包括:
竖安装板(14);
一为送料盒部的上料平台(10),装设在所述竖安装板(14)一侧的上部,其上设置有将所述料盒(13)推送至所述接驳架(27)的料盒推送机构(12),所述上料平台(10)上设置多条滑孔;
一为回收料盒部的料盒回收平台(11),装设在所述竖安装板(14)一侧的上部,其上设置有将空的料盒(13)由接驳架(27)上推送至料盒回收平台(11)上进行回收的料盒推送机构(12),所述料盒回收平台(11)上设置有多条滑孔。
3.根据权利要求2所述的一种全自动IC平面固晶机的进料机构,其特征在于,所述料盒推送机构(12)包括电机和排杆,所述排杆设置多根,其与滑孔一一对应的竖向设置,排杆的下端连接板通过所述电机驱动,连接板两侧滑接在两条滑轨上。
4.根据权利要求1所述的一种全自动IC平面固晶机的进料机构,其特征在于,所述料盒驱动组件(1-2)包括:
一设置在所述料盒上料机构(1)邻侧的安装座;
横向设置的第一料盒驱动组件(20),包括有电机座安装板、电机座、横置电机以及水平丝杆(23),所述电机座安装板水平固定在所述安装座的上端,其后端通过电机座固定所述横置电机,横置电机驱动端连接设置在电机座安装板上的水平丝杆(23),所述水平丝杆(23)螺接一做X轴向移动的驱动块(24),所述驱动块(24)上设置有滑轨,滑轨上设置有竖置的料盒推板(28),所述第一料盒驱动组件(20)为X轴向驱动机构,所述料盒推板(28)用于横向推动料盒(13)并通过料盒推板(28)对侧的挡板将其固定;
竖向设置第二料盒驱动组件(21),包括侧接在所述安装座侧面的竖置电机、竖向丝杆(25),所述竖置电机驱动端连接所述竖向丝杆(25),所述竖向丝杆(25)的杆体上螺接有接驳架(27),所述竖置电机驱动所述竖向丝杆(25)的旋转带动所述接驳架(27)进行升降运动。
5.根据权利要求1所述的一种全自动IC平面固晶机的进料机构,其特征在于,所述支架推杆组件(22)上设置推杆推送机构以及装设在所述推杆推送机构上的用于将所述料盒(13)内腔的支架推出的推杆。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造