[实用新型]一种自动开关金线收集器有效
| 申请号： | 201921542169.4 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN210182336U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 陆爱清;张雪明;孔维东;唐云 | 申请（专利权）人： | 紫光宏茂微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/56 | 分类号： | H01L21/56;H01L21/67;B01D46/10;B01D46/42;H01L23/482;H01L23/49;H01L23/50 |
| 代理公司： | 上海市嘉华律师事务所 31285 | 代理人： | 黄琮 |
| 地址： | 201799 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自动开关 收集 | ||
1.一种自动开关金线收集器，包括厂务真空泵(1)，其特征在于：所述厂务真空泵(1)的进气端连接有第二气管(9)，所述第二气管(9)的一端连接有真空开关控制盒(2)，所述真空开关控制盒(2)的一端连接有第一气管(4)，所述第一气管(4)的进气端连接有金线收集容器(3)，所述厂务真空泵(1)的出气端固定套装有出气管(10)。
2.根据权利要求1所述的自动开关金线收集器，其特征在于：所述真空开关控制盒(2)内部设有真空电磁阀(8)，所述真空电磁阀(8)的气路两端分别与第一气管(4)和第二气管(9)连接。
3.根据权利要求1所述的自动开关金线收集器，其特征在于：所述真空开关控制盒(2)内部设有真空电磁阀(8)的控制电路，且真空开关控制盒(2)内部的真空电磁阀(8)控制电路由继电器(7)和热座真空开关控制电路(6)组成。
4.根据权利要求3所述的自动开关金线收集器，其特征在于：所述继电器(7)连接有控制其开关的机台信号灯(5)。
5.根据权利要求3所述的自动开关金线收集器，其特征在于：所述热座真空开关控制电路(6)与继电器(7)连接。
6.根据权利要求2所述的自动开关金线收集器，其特征在于：所述真空电磁阀(8)与继电器(7)连接。
7.根据权利要求1所述的自动开关金线收集器，其特征在于：所述金线收集容器(3)底端的中部固定套装有出料管(301)，且金线收集容器(3)一侧的中部固定套接有收集口(302)，所述金线收集容器(3)的内部固定套装有位于收集口(302)上方的过滤网(303)，且金线收集容器(3)顶端的中部固定安装有固定架(304)，所述固定架(304)内腔的中部固定套装有汇流管(305)，所述汇流管(305)底部的出气口处固定套装有固定安装有在固定架(304)底部的高压喷头(306)，且汇流管(305)顶部的进气口与出气管(10)的出气口固定套接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
