[实用新型]一种同步多级伸缩机构及PECVD设备

说明书

本实用新型公开了一种同步多级伸缩机构及PECVD设备，该同步多级伸缩机构包括：至少两组伸缩组件，其调节所述同步多级伸缩机构的长度；驱动组件，其驱动所述伸缩组件的伸长或收缩；传动组件，其设于两两所述伸缩组件的端部；以及固定组件，其固定所述伸缩组件；其中，两两所述伸缩组件被并联地布置在所述传动组件的两端以实现两两所述伸缩组件同时前后伸缩往复运动。本案的同步多级伸缩机构可实现所述伸同步多级伸缩机构伸缩长度同时成倍递增或递减，且在可以承受大负载的同时降低结构的成本。

技术领域

本实用新型涉及PECVD设备领域，特别涉及一种同步多级伸缩机构。

背景技术

现有的硅电池片生产线中的PECVD设备需要将石墨舟由上游设备中搬运至缓存架进行缓存并降温，再由缓存架搬运至推舟以及由推舟上将石墨舟取下，现有搬运机构中采用悬臂结构设计的无法承受大负载并且选用的零部件结构复杂成本高。采用双侧搬运的设计结构复杂、伸缩臂结构冗长、占用空间大，无法进行科学合理的压缩伸缩臂的占用空间。其中在伸缩过程中无法精准的确定伸缩机构的伸缩长度。并且伸缩机构无法同时成倍递增或递减，只能在前级伸缩机构伸缩终了时，才能进行伸缩。该种伸缩机构判断与伸缩目标点的距离的过程相对迟缓。

有鉴于此，实有必要开发一种同步多级伸缩机构，用以解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术中存在的不足之处，本实用新型的目的是提供一种同步多级伸缩机构，其包括至少两组伸缩组件，所述每组伸缩组件包括至少两级伸缩臂，所述每级伸缩臂上单独设有一个驱动组件，以实现所述伸同步多级伸缩机构伸缩长度同时成倍递增或递减，且在可以承受大负载的同时降低结构的成本。

为了实现根据本实用新型的上述目的和其他优点，提供了一种同步多级伸缩机构，包括：

至少两组伸缩组件，其调节所述同步多级伸缩机构的长度；

驱动组件，其驱动所述伸缩组件的伸长或收缩；

传动组件，其设于两两所述伸缩组件的端部；以及

固定组件，其固定所述伸缩组件；

其中，两两所述伸缩组件被并联地布置在所述传动组件的两端以实现两两所述伸缩组件同时前后伸缩往复运动。

优选的是，所述伸缩组件包括至少两级伸缩臂。

优选的是，两两所述伸缩臂之间设有滑动导向组件滑动连接。

优选的是，所述滑动导向组件包括：

第一滑动导向组件；以及

第二滑动导向组件，其与所述第一滑动导向组件相适配。

优选的是，所述滑动导向组件还包括：

惰轮；以及

第一驱动同步带，其连接所述驱动组件与所述惰轮。

优选的是，每一级所述伸缩臂都包括所述滑动导向组件。

优选的是，所述第一驱动同步带固定于所述滑动导向组件的第一伸缩臂板与连接板压板之间；

其中，所述连接板压板与所述第一驱动同步带相接触的面设为锯齿状。

优选的是，所述驱动组件包括：

至少两个主动驱动组件，其为所述伸缩组件的往复运动提供动力；

至少两个从动驱动组件，其数目与所主动驱动组件一致。

优选的是，两两所述主动驱动组件分别设于所述同一组伸缩组件的不同级的第一伸缩臂或第二伸缩臂上。