[实用新型]一种半导体芯片的加工装置有效

专利信息
申请号: 201921557308.0 申请日: 2019-09-19
公开(公告)号: CN210614110U 公开(公告)日: 2020-05-26
发明(设计)人: 陈建华;薛敬伟;王锡胜;胡长文;刘庆贵 申请(专利权)人: 盐城矽润半导体有限公司
主分类号: B05B13/02 分类号: B05B13/02;B05B15/00;B05B5/025;H01L21/67
代理公司: 北京艾皮专利代理有限公司 11777 代理人: 丁艳侠
地址: 224500 江苏省盐城市滨海经济开*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 芯片 加工 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体芯片的加工装置,包括箱体(3),箱体(3)的内壁上设置有静电发生器(8),箱体(3)的顶端设置有传动丝杆(5),箱体(3)的一侧设置有与传动丝杆(5)相对应的第一驱动电机(7),箱体(3)的内部设置有金属支撑板(2),其特征在于:所述箱体(3)的底端设置有第一电动伸缩杆(14),第一电动伸缩杆(14)的上方设置有与金属支撑板(2)相对应的第二驱动电机(13),第二驱动电机(13)与第一电动伸缩杆(14)的连接处设置有支架(15),金属支撑板(2)的上方设置有喷涂机构(6),喷涂机构(6)包括限位滑块(63),限位滑块(63)上设置有与传动丝杆(5)相对应的第一限位轴承(64),限位滑块(63)的下表面设置有第二电动伸缩杆(66),第二电动伸缩杆(66)的底端设置有喷头(61),喷头(61)的一侧设置有进料管(62),喷头(61)的另一侧设置有进气管(67),箱体(3)的顶端还设置有与限位滑块(63)相对应的限位滑杆(4),限位滑块(63)上开设有与限位滑杆(4)相对应的限位通孔(65)。

2.根据权利要求1所述的半导体芯片的加工装置,其特征在于:所述金属支撑板(2)的两侧设置有固定机构(9),固定机构(9)包括限位板(95),限位板(95)的顶端设置有调节螺钉(93),调节螺钉(93)的底端设置有固定板(92),调节螺钉(93)与固定板(92)的连接处设置有第二限位轴承(94),固定板(92)的下表面设置有缓冲块(91)。

3.根据权利要求2所述的半导体芯片的加工装置,其特征在于:所述缓冲块(91)为中空的长方体结构,缓冲块(91)的材质为橡胶,缓冲块(91)与固定板(92)通过胶水粘合连接。

4.根据权利要求1所述的半导体芯片的加工装置,其特征在于:所述第二驱动电机(13)的两侧设置有限位支撑杆(1),限位支撑杆(1)为圆柱体结构,限位支撑杆(1)的顶端镶嵌有与金属支撑板(2)相对应的限位滚珠(10)。

5.根据权利要求1-4任一所述的半导体芯片的加工装置,其特征在于:所述箱体(3)的下方设置有支撑底板(12),支撑底板(12)的上表面两端设置有与箱体(3)相对应的减震支撑块(11)。

6.根据权利要求5所述的半导体芯片的加工装置,其特征在于:所述减震支撑块(11)为长方体结构,减震支撑块(11)的材质为橡胶,减震支撑块(11)与箱体(3)通过胶水粘合连接,减震支撑块(11)与支撑底板(12)通过胶水粘合连接。

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