[实用新型]一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备

权利要求书

1.酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备，其特征在于，包括：溶解吸收缸(1)、氯化亚铁吸收装置(2)、液碱洗涤塔(3)、氯气管道(6)、第一射流器(7)、第一气体管道(9)、第二气体管道(10)；

其中，所述溶解吸收缸(1)用于存放酸性蚀刻液，第一射流器(7)插入到溶解吸收缸(1)的内部，所述氯气管道(6)连接第一射流器的注气口；第一射流器(7)的注液口设置有液体管道，液体管道均设置有泵、且均与溶解吸收缸(1)底部的出液口连接；

所述溶解吸收缸(1)与氯化亚铁吸收装置(2)通过第一气体管道(9)连接；

其中，氯化亚铁吸收装置(2)包括：下部的第一回收槽(2-1)、以及上部的第一喷淋吸收槽(2-2)；所述上部的第一喷淋吸收槽(2-2)为至少1层；第一喷淋吸收槽(2-2)包括：第一喷淋吸收槽顶部的喷头(2-2-1)、第一喷淋吸收槽下部的散体填充物(2-2-2)；在氯化亚铁吸收装置的最顶层的第一喷淋吸收槽的顶部设置有出气口，其与第二气体管道(10)连接；氯化亚铁吸收装置(2)的内部各层槽体之间空气连通；

第二气体管道将氯化亚铁吸收装置(2)与液碱洗涤塔(3)连接；

其中，液碱洗涤塔(3)包括：下部的第二回收槽(3-1)、以及上部的第二喷淋吸收槽(3-2)；所述上部的第二喷淋吸收槽(3-2)为至少1层；第二喷淋吸收槽(3-2)包括：第二喷淋吸收槽顶部的喷头、第二喷淋吸收槽下部的散体填充物；在最顶层的第二喷淋吸收槽的顶部设置有出气口，用于排放废气。

2.如权利要求1所述的酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备，其特征在于，在第一气体管道(9)、第二气体管道(10)中均设置有抽气装置。

3.如权利要求1所述的酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备，其特征在于，还包括：氯化亚铁再生装置(4)、真空挥发装置(5)、第二射流器(14)；

其中，第二射流器(14)插入到溶解吸收缸(1)的内部，第二射流器(14)的注液口设置有液体管道，液体管道均设置有泵、且均与溶解吸收缸(1)底部的出液口连接；

其中，氯化亚铁再生装置(4)包括：氯化亚铁再生装置壳体(4-1)、阳离子膜(4-2)、阴极板(4-3)、阳极板(4-4)；阳离子膜(4-2)将氯化亚铁再生装置壳体(4-1)分为阴极室和阳极室；在阴极室设置有阴极板(4-3)，在阳极室设置有阳极板(4-4)，阴极板、阳极板与电源的负极、正极连接；所述阴极室用于盛放氯化铁和氯化亚铁混合溶液；所述阳极室用于盛放硫酸溶液；

其中，真空挥发装置(5)包括：下部的第三回收槽(5-1)、以及上部的第三喷淋吸收槽(5-2)；所述上部的第三喷淋吸收槽(5-2)为至少1层；第三喷淋吸收槽(5-2)包括：第三喷淋吸收槽顶部的喷头、第三喷淋吸收槽下部的散体填充物；喷头喷射下部第三回收槽(5-1)中的溶液；

其中，氯化亚铁吸收装置(2)的下部第一回收槽(2-1)与氯化亚铁再生装置(4)的阴极室之间设置有管道连接，以将氯化亚铁吸收装置(2)的溶液运送到氯化亚铁再生装置(4)的阴极室中；

其中，所述氯化亚铁再生装置(4)的阴极室通过管道与真空挥发装置(5)的下部的第三回收槽连接；

其中，在真空挥发装置(5)的最顶层的第三喷淋吸收槽设置有出气口、且出气口连接有管道，然后与第二射流器的进气口连接；

真空挥发装置(5)下部的第三回收槽(5-1)还设置有管道以及泵，将下部的第三回收槽(5-1)的溶液送到氯化亚铁吸收装置(2)的下部的第一回收槽(2-1)中。

4.如权利要求3所述的酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备，其特征在于，所述真空挥发装置(5)的上部的第三喷淋吸收槽(5-2)的喷头与下部的第三回收槽(5-1)之间通过泵、管道连通。

5.如权利要求1至4任意一项所述的酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备，其特征在于，在溶解吸收缸(1)的底部设置有出液口以及出液管道，出液管道将酸性蚀刻液返回到蚀刻生产线。

6.如权利要求1所述的酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备，其特征在于，阴极板(4-3)采用钛合金板，阳极板(4-4)采用稀有金属涂层钛板。

7.如权利要求1所述的酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备，其特征在于，还包括：控制器(17)、氯气浓度传感器(18)、氯化亚铁再生装置电源模块(19)、氯化亚铁吸收装置喷头调速模块(20)、真空挥发装置喷头调速模块(21)；

氯气浓度传感器(18)的输出端与控制器(17)的输入端连接；

控制器(17)的输出端与氯化亚铁再生装置电源模块(19)、氯化亚铁吸收装置喷头调速模块(20)、真空挥发装置喷头调速模块(21)的输出端连接；

所述氯气浓度传感器(18)用于检测氯气浓度的大小；

所述氯化亚铁再生装置电源模块(19)用于控制氯化亚铁再生装置阴极板与阳极板电流的大小；

所述氯化亚铁吸收装置喷头调速模块(20)用于控制氯化亚铁吸收装置的第一喷淋吸收槽的喷头的喷速大小；

所述真空挥发装置喷头调速模块(21)用于控制真空挥发装置的第三喷淋吸收槽的喷头的喷速大小。