[实用新型]共轭校正检验非球面镜的光学系统有效
申请号: | 201921578776.6 | 申请日: | 2019-09-23 |
公开(公告)号: | CN210864203U | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 郝沛明;郑列华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | G02B27/00 | 分类号: | G02B27/00;G01M11/02 |
代理公司: | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 共轭 校正 检验 球面镜 光学系统 | ||
1.一种共轭校正检验非球面镜的光学系统,包括校正透镜(2)和自准校正透镜(3),待检非球面镜(1)有两个不消球差的共轭点,即共轭后点O′和共轭前点O″,其特征在于,
由检测设备发出的光线经校正透镜(2)后至待检非球面镜(1)反射至自准校正透镜(3),并由自准校正透镜(3)中的镀有半透半反膜的透镜面反射回待检非球面镜(1),再经待检非球面镜(1)反射到自准校正透镜(3),经自准校正透镜(3)透射和校正透镜(2)透射原路回到检测设备;
校正透镜(2)将检测设备发出的光线成像于待检非球面镜(1)的共轭后点O′或共轭前点O″上,该点作为待检非球面镜的共轭物点;待检非球面镜(1)将共轭物点成像于另一个共轭点上,该点为共轭像点;共轭前点O″和共轭后点O′共轭为物像关系点;按两个共轭点划分区间成共轭后点、共轭前点、共轭前后点之间为中区O′O″、共轭后点后为后区和共轭前点前为前区,共轭校正检验的共轭前后点和前区、中区、后区三个区间是相关的;校正透镜(2)和自准校正透镜(3)二者生成的球差校正待检非球面镜(1)在两个共轭点生成的球差;自准校正透镜(3)放置在共轭后点O′,共轭前点O″,中区、后区或前区区间;光栏位于自准校正透镜(3)的自准面上,自准面镀有半透半反膜,光线两次经过待检非球面镜(1)。
2.根据权利要求1所述的共轭校正检验非球面镜的光学系统,其特征在于:所述的校正透镜(2)和自准校正透镜(3)可合并成一个透镜。
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