[实用新型]一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚有效
申请号: | 201921581827.0 | 申请日: | 2019-09-23 |
公开(公告)号: | CN210683995U | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 郭志宏 | 申请(专利权)人: | 大同新成新材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 申绍中 |
地址: | 037002 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多品硅 用具 保温 结构 坩埚 | ||
1.一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚,包括保温筒顶座(3)和保温筒外壳体(17),其特征在于:所述保温筒外壳体(17)的上方设置有保温筒顶座(3),所述保温筒顶座(3)的两端设置有固定手环(19),所述保温筒顶座(3)的顶端中间位置处设置有控制阀(1),所述控制阀(1)的左下方设置有高温计(20),所述控制阀(1)的右下方设置有测压口(4),所述控制阀(1)的下方位于保温筒顶座(3)的内部设置有联轴器(2),所述保温筒顶座(3)与保温筒外壳体(17)的固接处设置有密封圈(5),所述保温筒外壳体(17)的底端中间位置处设置有引流口(12),所述引流口(12)的左侧设置有支撑脚(13),所述保温筒外壳体(17)的桶身外壁上端设置有导热油入口(18),所述保温筒外壳体(17)的内部设置有导热油保温层(16),所述导热油保温层(16)的内部设置有保温层(15),所述保温层(15)的内部设置有石英坩埚(10),所述石英坩埚(10)的内部设置有加热元件(8),所述加热元件(8)的内部位于联轴器(2)的下方设置有石墨坩埚(6),所述石墨坩埚(6)的下方设置有坩埚底座(7),所述坩埚底座(7)的下方设置有中心轴(11),所述中心轴(11)的左右两侧设置有固定支架(9),所述固定支架(9)的下方设置有夹持座(14),所述保温筒顶座(3)的上方设置有电机(22),所述电机(22)的下方设置有电机转轴(21),所述电机转轴(21)的下方设置有固定横梁(24),所述电机转轴(21)的底端位于固定横梁(24)的中间位置处设置有中心轴承(23),所述中心轴(11)的底端设置有轴承(25),所述保温筒顶座(3)的底端设置有顶座螺块(26),所述顶座螺块(26)的下方位于保温筒外壳体(17)的顶端位置处设置有保温筒螺槽(27),所述加热元件(8)和电机(22)均匀外部电源电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚,其特征在于:所述电机(22)与石英坩埚(10)之间通过中心轴承(23)转动连接,所述电机(22)与中心轴承(23)之间通过电机转轴(21)转动连接,所述石墨坩埚(6)的顶端与中心轴承(23)之间通过联轴器(2)转动连接,所述石墨坩埚(6)的底端与石英坩埚(10)之间通过中心轴(11)和轴承(25)转动连接。
3.根据权利要求1所述的一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚,其特征在于:所述保温层(15)与保温筒外壳体(17)之间一体成型,所述保温层(15)的材料为岩棉、矿渣棉、玻璃棉和微孔硅酸钙的混合物。
4.根据权利要求1所述的一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚,其特征在于:所述导热油保温层(16)位于保温层(15)的外部,所述导热油保温层(16)将保温层(15)完全包裹,所述导热油保温层(16)位于保温层(15)通过导热油入口(18)添加导热油进行保温。
5.根据权利要求1所述的一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚,其特征在于:所述顶座螺块(26)与保温筒顶座(3)一体成型,所述保温筒顶座(3)与保温筒外壳体(17)之间通过顶座螺块(26)和保温筒螺槽(27)螺纹拆卸连接,所述保温筒顶座(3)与保温筒外壳体(17)的固合处通过密封圈(5)密封连接。
6.根据权利要求1所述的一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚,其特征在于:所述石英坩埚(10)的顶端与固定横梁(24)之间通过中心轴承(23)转动连接,所述石英坩埚(10)位于保温筒外壳体(17)的内部,所述石英坩埚(10)紧贴保温筒外壳体(17)的内壁,两者的距离在1cm-2cm之间。
7.根据权利要求1所述的一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚,其特征在于:所述测压口(4)包括压力表(28)和泄压阀(29),所述测压口(4)的左侧设置有泄压阀(29),所述测压口(4)与泄压阀(29)之间通过螺栓固定连接,所述泄压阀(29)的左侧设置有压力表(28),所述泄压阀(29)与压力表(28)之间焊接固定。
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