[实用新型]一种硅片清洗机

权利要求书

1.一种硅片清洗机，包括传送机构，所述传送机构的传送轨迹上设置有慢拉槽(40)，其特征在于，所述慢拉槽(40)包括：

慢拉槽本体(41)；

除泡沫机构(42)，其设置于所述慢拉槽本体(41)的上方，所述除泡沫机构(42)包括吹风管(421)，所述吹风管(421)的外壁上设置有吹风口(4211)，用于吹集所述慢拉槽本体(41)上的泡沫。

2.根据权利要求1所述的硅片清洗机，其特征在于，所述吹风管(421)沿所述慢拉槽本体(41)的第一侧边延伸，所述吹风口(4211)的数量为多个，多个所述吹风口(4211)沿所述吹风管(421)的轴向间隔设置。

3.根据权利要求2所述的硅片清洗机，其特征在于，所述吹风管(421)的数量为多个，多个所述吹风管(421)沿所述慢拉槽本体(41)的第二侧边间隔设置，所述第二侧边垂直于所述第一侧边。

4.根据权利要求1所述的硅片清洗机，其特征在于，所述吹风管(421)转动设置于所述慢拉槽本体(41)的上方。

5.根据权利要求1-4任一项所述的硅片清洗机，其特征在于，所述除泡沫机构(42)还包括刮泡沫组件(422)，所述刮泡沫组件(422)用于刮除所述慢拉槽本体(41)上由所述吹风管(421)吹集的所述泡沫。

6.根据权利要求5所述的硅片清洗机，其特征在于，所述刮泡沫组件(422)包括与所述慢拉槽本体(41)转动连接的第一刮板(4222)，所述第一刮板(4222)伸入所述慢拉槽本体(41)内且在水平面内转动，所述第一刮板(4222)与所述吹风口(4211)相对设置。

7.根据权利要求6所述的硅片清洗机，其特征在于，所述刮泡沫组件(422)设置有多个，多个所述刮泡沫组件(422)沿所述慢拉槽本体(41)的与所述吹风管(421)相对的一侧均匀且间隔设置，且多个所述刮泡沫组件(422)的所述第一刮板(4222)的长度之和为所述慢拉槽本体(41)的宽度的一半。

8.根据权利要求5所述的硅片清洗机，其特征在于，所述刮泡沫组件(422)包括滑轨(4223)、滑块和第二刮板(4224)，所述滑轨(4223)设置于所述慢拉槽本体(41)上，并沿所述慢拉槽本体(41)的宽度方向延伸，所述滑块滑动配合于所述滑轨(4223)，所述第二刮板(4224)设置于所述滑块上。

9.根据权利要求1-4任一项所述的硅片清洗机，其特征在于，所述硅片清洗机还包括烘干槽(50)，所述烘干槽(50)包括烘干槽本体，所述烘干槽本体的侧壁上设置有进风口(51)，所述烘干槽本体的底面设置有出风口，所述烘干槽本体内设置有过滤网(52)，所述过滤网(52)与所述烘干槽本体的底部的出风口正对设置。

10.根据权利要求9所述的硅片清洗机，其特征在于，所述烘干槽(50)还包括排水机构，所述排水机构被配置为将所述硅片上的水分排出。