[实用新型]一种全自动立式钟罩清洗机有效
申请号: | 201921596128.3 | 申请日: | 2019-09-24 |
公开(公告)号: | CN210546660U | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 何婷婷;陈素荣;王福亮;何虎;赵芹;陈利锋 | 申请(专利权)人: | 江苏芯梦半导体设备有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 全自动 立式 清洗 | ||
1.一种全自动立式钟罩清洗机,包括机壳,所述机壳中形成有清洗腔室,其特征在于,所述机壳中靠近清洗腔室顶部设有上喷淋机构,靠近清洗腔室底部设有下喷淋机构;
所述上喷淋机构包括由上至下依次设置的气缸、上夹板、喷淋管,所述上夹板与所述气缸的活动端连接,以在气缸驱动下升降移动,所述上夹板底面上位于喷淋管外周设有第一密封圈,所述第一密封圈与扁平式钟罩上端法兰大小、形状相匹配,以在上夹板压合在扁平式钟罩上时消除扁平式钟罩和上夹板的配合间隙,所述上夹板内部形成有第一混合腔,所述上夹板上设有与第一混合腔联通的第一进液管和第一进气管,所述喷淋管通过若干支管与所述第一混合腔联通,所述喷淋管上均匀分布设有若干微孔;
所述下喷淋机构包括下夹板和设置在所述下夹板顶面上的若干喷淋座,所述下夹板顶面上位于所述喷淋座外周还设有第二密封圈,所述第二密封圈与扁平式钟罩下端法兰大小、形状相匹配,以在扁平式钟罩放置于下夹板上时消除扁平式钟罩和下夹板的配合间隙,所述下夹板内部形成有第二混合腔,所述下夹板上设有与第二混合腔联通的第二进液管和第二进气管,所述喷淋座与所述第二混合腔联通,所述喷淋座顶部均匀分布设有若干喷嘴,所述下夹板上还设有排废管路,以联通扁平式钟罩内部空间和清洗腔室外部空间。
2.根据权利要求1所述的一种全自动立式钟罩清洗机,其特征在于,所述第一密封圈和所述第二密封圈均为O型圈。
3.根据权利要求1所述的一种全自动立式钟罩清洗机,其特征在于,所述喷嘴在所述喷淋座顶部呈辐射状分布。
4.根据权利要求1所述的一种全自动立式钟罩清洗机,其特征在于,所述支管至少为三根且在喷淋管长度方向上间隔均匀分布。
5.根据权利要求1所述的一种全自动立式钟罩清洗机,其特征在于,所述喷淋座至少为三个且在第二密封圈内的下夹板顶面上均匀分布。
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