[实用新型]一种电子显微镜翻盖式样品台有效

专利信息
申请号: 201921613292.0 申请日: 2019-09-26
公开(公告)号: CN211045370U 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 廖洪钢 申请(专利权)人: 厦门超新芯科技有限公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 361000 福建省厦门市*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 电子显微镜 翻盖 式样
【说明书】:

实用新型公开了一种电子显微镜翻盖式样品台,包括样品座、翻盖片和连接轴;所述翻盖片通过连接轴和样品座构成可转动相连接;所述翻盖片上设有电极压片;所述电极压片数量为4,且轴对称设置;所述翻盖片居中设有一个直径为5~20mm的通孔;所述样品座上设有顶起杆。本实用新型最有益的效果是提高了芯片固定工作的效率,降低了芯片对位的难度,提高了芯片使用的安全性,降低了电子显微镜受到样品污染的危险。并起到了给特殊芯片的电极通电的作用。

技术领域

本实用新型涉及透射电子显微镜辅助配件技术领域,尤其涉及一种用于透射电子显微镜的电子显微镜翻盖式样品台。

背景技术

目前透射电子显微镜的样品台固定样品的方式为普通的夹紧机构,较为简单,但对于光滑的样品芯片,此种固定方式存在风险,样品芯片若不小心掉落入本身造价昂贵电子显微镜的内部,那将造成重大损失。并且普通的夹紧方式采用肉眼观察的方式固定芯片,无法将芯片的观察孔精确的对上电子束,在微观几纳米的世界里,将造成对位困难观测困难等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电子显微镜翻盖式样品台,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:电子显微镜翻盖式样品台,包括样品座、翻盖片和连接轴;所述翻盖片通过连接轴和样品座构成可转动相连接;所述翻盖片上设有电极压片;所述电极压片数量为4,且轴对称设置;所述翻盖片居中设有一个直径为5~20mm的通孔;所述样品座上设有顶起杆;所述顶起杆设有4个;所述顶起杆与所述样品座呈168°角安装,所述顶起杆成J字形,如此设置方便对芯片的拆卸。

优选的,所述样品座上设有一个沉槽;所述样品座上设有一个观察孔和一个固定孔,固定孔位于观察孔正前方。

优选的,所述压片为带有弧形金属片或弹性顶针中的一种。

与现有技术相比,本实用新型的技术方案具有以下优点:

1)提高了芯片固定工作的效率,降低了芯片对位的难度;

2)提高了芯片使用的安全性,降低了电子显微镜受到样品污染的危险;3)可以给特殊芯片的电极进行通电的提高检测效果。

附图说明

图1为本实用新型实施例三维结构示意图;

图2为本实用新型实施例顶起杆意图。

标号说明:样品座1、翻盖片2、连接轴3、沉槽11、观察孔12、固定孔13、顶起杆14、电极压片21、通孔22。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅附图1所示:一种电子显微镜翻盖式样品台,包括样品座1、翻盖片2和连接轴3;其中翻盖片2与样品座1之间通过连接轴3构成可转动连接,使翻盖片2可以在一定的角度内进行翻转,如此设置方便整个样品台进行安放待检测芯片。具体的翻盖片2上对称设有电极压片21且电极片21数量为4,用于对芯片5进行压紧固定,并接通用于通电增加观察效果,具体的翻盖片2在对芯片5进行固定时带有弧度电极片21正好下压发生变形,这样可以确保芯片5正好被固定,不发生移位。翻盖片2居中设有一个直径为5~20mm的通孔22,用于观察芯片5,其中通孔的面积大于芯片5的观察面积,这样保证整个观察的范围完全被观察到。另外样品座1上设有顶起杆14,所述顶起杆14设有4个;所述顶起杆14与所述样品1座呈168°角安装,所述顶起杆14成J字形,用于在拆卸芯片5时松开紧固件,顶起杆14在弹性力作用下恢复原状,将芯片5顶起即可,使得整个过程更为简单。

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