[实用新型]一种区熔炉气相掺杂管路系统有效
| 申请号： | 201921615639.5 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN210826445U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;吴磊;王遵义;万静;郝大维;孙健;谭永麟 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B13/12 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 戴文仪 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 熔炉 掺杂 管路 系统 | ||
1.一种区熔炉气相掺杂管路系统，其特征在于：包括相互独立设置的工型掺杂气路(1)和π型掺杂气路(2)；
所述工型掺杂气路(1)和π型掺杂气路(2)的一端均设有保护气进气口和掺杂气进气口，二者的保护气进气口通过管道各自独立的与气路选择阀一(3)的输出端连接，二者的掺杂气进气口通过管道各自独立的与气路选择阀二(4)的输出端连接，所述气路选择阀一(3)的输入端与保护气气源(5)连接，所述气路选择阀二(4)的输入端与掺杂气气源(6)连接；
所述工型掺杂气路(1)和π型掺杂气路(2)的另一端均设有出气口和排气口，二者的出气口通过管道各自独立的与气路选择阀三(7)的输入端连接，二者的排气口通过管道各自独立的与气路选择阀四(8)的输入端连接，所述气路选择阀三(7)的输出端与区熔炉炉膛(9)内腔连通，所述气路选择阀四(8)的输出端与压力控制器(10)连接；两路气路的所述保护气进气口、所述掺杂气进气口、所述出气口以及所述气路选择阀四(8)输出端均设有气体流量计(11)。
2.根据权利要求1所述的区熔炉气相掺杂管路系统，其特征在于：所述气路选择阀一(3)、所述气路选择阀二(4)、所述气路选择阀三(7)以及所述气路选择阀四(8)均为90°旋转球阀。
3.根据权利要求1所述的区熔炉气相掺杂管路系统，其特征在于：所述工型掺杂气路(1)和所述π型掺杂气路(2)在竖直方向上并列设置。
4.根据权利要求3所述的区熔炉气相掺杂管路系统，其特征在于：所述工型掺杂气路(1)竖直设置，其保护气进口位于其掺杂气进口下方，其出气口位于其排气口上方；所述π型掺杂气路(2)在竖直方向上倒放设置，其保护气进口位于其掺杂气进口上方，其出气口位于其排气口下方。
5.根据权利要求1到4任一项所述的区熔炉气相掺杂管路系统，其特征在于：所述工型掺杂气路(1)和所述π型掺杂气路(2)的管道内径为0.3-0.6cm。
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