[实用新型]基板检测装置

权利要求书

1.一种基板检测装置，其中，所述基板检测装置包括：

基板检测单元，配置在基板检测区域内，检测基板的表面；

第一夹具模块，以所述基板检测区域为基准，位于所述基板的移送方向的上游侧；以及

第二夹具模块，以所述基板检测区域为基准，位于所述基板的移送方向的下游侧，

所述第一夹具模块在把持以与所述基板的后行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的所述基板的第一部分的状态下进行移动，使以与所述基板的先行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的所述基板的第二部分通过所述基板检测区域，所述第二部分通过所述基板检测区域后，解除所述第一部分；

在所述第一夹具模块解除所述第一部分之前或同时，所述第二夹具模块把持已通过所述基板检测区域的所述第二部分的状态下进行移动，使得所述第一部分通过所述基板检测区域。

2.根据权利要求1所述的基板检测装置，其中，

所述第一夹具模块解除所述第一部分的动作和所述第二夹具模块把持所述第二部分的动作，在所述第一夹具模块和所述第二夹具模块以相同的速度进行移动时执行。

3.根据权利要求1所述的基板检测装置，其中，

所述第一夹具模块解除所述第一部分的动作和所述第二夹具模块把持所述第二部分的动作，在所述第一夹具模块和所述第二夹具模块以等速进行移动时执行。

4.根据权利要求2或3所述的基板检测装置，其中，

在所述第二部分通过所述基板检测区域之前，所述第二夹具模块进行加速。

5.根据权利要求1所述的基板检测装置，其中，

所述基板检测单元包括对所述基板的下表面进行检测的下表面检测模块，以及对所述基板的上表面进行检测的上表面检测模块；

所述下表面检测模块和所述上表面检测模块在所述基板的移送方向上相互间隔开。

6.根据权利要求5所述的基板检测装置，其中，

在所述下表面检测模块和所述上表面检测模块之间设置有支撑所述基板的中间装载台。

7.根据权利要求5所述的基板检测装置，其中，

所述下表面检测模块或所述上表面检测模块包括：

向所述基板的下表面或上表面照射光的光源；以及

拍摄所述基板的下表面或上表面的摄像头，

所述摄像头构成为可以调节朝向所述基板的角度。