[实用新型]一种高分辨率紫外物镜

权利要求书

1.一种高分辨率紫外物镜，其特征在于，从物方到像方依次包括：第一透镜(1)、第二透镜(2)、第三透镜(3)、第四透镜(4)、第五透镜(5)以及第六透镜(6)；第一透镜(1)的物侧面为凸面，像侧面为凹面，其屈光度为正；第二透镜(2)的物侧面为凸面，像侧面为凸面，其屈光度为正；第三透镜(3)的物侧面为凹面，像侧面为凹面，其屈光度为负；第四透镜(4)的物侧面为凹面，像侧面为凹面，其屈光度为负；第五透镜(5)的物侧面为凸面，像侧面为凸面，其屈光度为正；第六透镜(6)的物侧面为凸面，像侧面为凸面，其屈光度为正。

2.如权利要求1所述的高分辨率紫外物镜，其特征在于，所述第一透镜(1)为弯月形正透镜，玻璃材料为氟化钙。

3.如权利要求1所述的高分辨率紫外物镜，其特征在于，所述第二透镜(2)为双凸正透镜，玻璃材料为氟化钙。

4.如权利要求1所述的高分辨率紫外物镜，其特征在于，所述第三透镜(3)为双凹负透镜，玻璃材料为熔石英。

5.如权利要求1所述的高分辨率紫外物镜，其特征在于，所述第四透镜(4)为双凹负透镜，玻璃材料为熔石英，并且光学系统的光阑(8)位于第四透镜的物侧面。

6.如权利要求1所述的高分辨率紫外物镜，其特征在于，所述第五透镜(5)为双凸正透镜，玻璃材料为氟化钙。

7.如权利要求1所述的高分辨率紫外物镜，其特征在于，所述第六透镜(6)为双凸正透镜，玻璃材料为氟化钙。

8.如权利要求1所述的高分辨率紫外物镜，其特征在于，所述第一透镜(1)、第二透镜(2)、第三透镜(3)满足下列的表达式：

3＜f_1，2，3/f＜5

式中，f_1，2，3是第一透镜(1)、第二透镜(2)、第三透镜(3)的组合焦距；f表示整个镜头透镜组的焦距。

9.根据权利要求1～8任一所述的高分辨率紫外物镜，其特征在于，所述透镜是固定的，高分辨率紫外物镜光学系统是不可移动的定焦镜头。