[实用新型]飞秒激光器分布式干涉仪系统

权利要求书

1.一种飞秒激光器分布式干涉仪系统，其特征在于，包括：

第一光学频率梳(10)，用于提供测距光源；

第二光学频率梳(20)，用于提供本振光源；

第一分光模块(30)，设置于所述测距光源的光路上，用于将所述测距光源分为多路子测量光；

第二分光模块(40)，设置于所述本振光源的光路上，用于将所述本振光源分为多路子本振光；

多个干涉仪装置(50)，一路所述子测量光和一路所述子本振光分别入射至一个所述干涉仪装置(50)；

所述子测量光经所述干涉仪装置(50)照射至被测物体(60)，经所述被测物体(60)反射后的所述子测量光入射至所述干涉仪装置(50)，经所述干涉仪装置(50)出射的所述子测量光和所述子本振光合并，形成干涉信号；

所述干涉仪装置(50)根据所述干涉信号获取所述被测物体(60)的测量信息。

2.如权利要求1所述的飞秒激光器分布式干涉仪系统，其特征在于，所述第一分光模块(30)包括第一光纤分路器(310)，所述第一光纤分路器(310)的输入端与所述第一光学频率梳(10)光纤连接，所述第一光纤分路器(310)的输出端分别与多个所述干涉仪装置(50)光纤连接。

3.如权利要求2所述的飞秒激光器分布式干涉仪系统，其特征在于，所述第二分光模块(40)包括第二光纤分路器(410)，所述第二光纤分路器(410)的输入端与所述第二光学频率梳(20)光纤连接，所述第二光纤分路器(410)的输出端分别与多个所述干涉仪装置(50)光纤连接。

4.如权利要求3所述的飞秒激光器分布式干涉仪系统，其特征在于，每个所述干涉仪装置(50)包括：

第一光纤准直聚焦镜(510)，与所述第一光纤分路器(310)光纤连接；

第二光纤准直聚焦镜(520)，与所述第二光纤分路器(410)光纤连接；

第一分光镜(530)，设置于经所述第一光纤准直聚焦镜(510)后的所述子测量光的光路上，用于将经所述第一光纤准直聚焦镜(510)后的所述子测量光分为两束垂直的第一子测量光和第二子测量光；

第二分光镜(540)，设置于经所述第二光纤准直聚焦镜(520)后的所述子本振光路上；

第一反射镜(550)，设置于所述第一子测量光的光路上，用于将所述第一子测量光反射回至所述第一分光镜(530)；

所述第二子测量光照射至所述被测物体(60)，经所述被测物体(60)反射回至所述第一分光镜(530)，并与经所述第一反射镜(550)反射的所述第一子测量光混合；

经所述第一反射镜(550)反射的所述第一子测量光和经所述被测物体(60)反射的所述第二子测量光的混合光经所述第一分光镜(530)入射至所述第二分光镜(540)；

第一光电探测器(560)，用于对经所述第一反射镜(550)反射的所述第一子测量光、经所述被测物体(60)反射的所述第二子测量光以及经所述第二分光镜(540)透射的所述子本振光的混合光进行探测。

5.如权利要求1所述的飞秒激光器分布式干涉仪系统，其特征在于，所述第一分光模块(30)包括：

多个第三分光镜，一个所述第三分光镜与一个所述干涉仪装置(50)对应设置，所述多个第三分光镜用于将所述测距光源分为多路子测量光；

第1个第三分光镜(320)设置于所述测距光源的光路上，用于将所述测距光源分为两路所述子测量光，一路所述子测量光入射至一个所述干涉仪装置(50)，一路所述子测量光入射至第2个第三分光镜(330)；

第i个第三分光镜，设置于经第i-1个第三分光镜分束后的一路所述子测量光的光路上，用于将经所述第i-1个第三分光镜分束后的一路所述子测量光分为两路所述子测量光，一路所述子测量光入射至一个所述干涉仪装置(50)，一路所述子测量光入射至第i+1个第三分光镜；

其中，i为大于1的正整数。