[实用新型]一种形貌信息检测系统

说明书

本实用新型公开了一种形貌信息检测系统，该形貌信息检测系统，包括：受测样品载体，用于放置受测样品；形貌信息检测装置，包括微型力敏感元件，用于检测所述受测样品的形貌信息；除静电装置，用于消除所述微型力敏感元件与所述受测样品之间的静电；控制器，分别与所述形貌信息检测装置、所述除静电装置连接，与所述形貌信息检测装置、所述除静电装置连接，用于控制所述除静电装置和所述形貌信息检测装置分别进行除静电和形貌信息检测操作。通过设置除静电装置，对形貌检测装置与受测样品之间的静电进行消除，避免了形貌信息检测装置与受测样品之间的静电对形貌检测结果的影响，提高了形貌检测结果的准确性以及形貌检测效率。

技术领域

本实用新型涉及设备检测领域，具体涉及一种形貌信息检测系统。

背景技术

在实际产品制造与生产过程中，通常会对样品表面形貌进行检测，以生成出满足要求的产品。相关技术中，样品表面形貌检测仪器基于检测受测样品表面与一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力的原理来确定受测样品的表面形貌特征。如广泛使用的原子力显微镜(Atomic Force Microscope，AFM)是一种利用微悬臂感受和放大悬臂上探针和受测样品原子间的作用力，从而达到检测样品表面形貌的设备。即当原子间距离减小到一定程度以后，原子间的作用力将迅速上升，根据探针受力的大小就可以直接换算出受测样品表面的高度，从而获得受测样品表面形貌的信息。

但在使用AFM进行受测样品表面形貌检测时，由于空气中的静电力作用，将导致探针下针速度变慢或者使得探针未能下降到目标位置就提示下针完成，影响获得受测样品表面形貌信息的准确性以及AFM的检测效率；且空气中产生的静电，也会引起探针的共振频率发生变化，导致探针振幅降低，同样降低了获取的受测样品表面形貌信息的准确性。

发明内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服相关技术获取受测样品表面形貌信息准确性及效率低的缺陷，从而提供一种形貌信息检测系统。

根据第一方面，本实用新型实施例公开了一种形貌信息检测系统，包括：受测样品载体，用于放置受测样品；形貌信息检测装置，包括微型力敏感元件，用于检测所述受测样品的形貌信息；除静电装置，用于消除所述微型力敏感元件与所述受测样品之间的静电；控制器，与所述形貌信息检测装置、所述除静电装置连接，用于控制所述除静电装置和所述形貌信息检测装置分别进行除静电和形貌信息检测操作。

结合第一方面，在第一方面第一实施方式中，所述除静电装置包括：去离子风机、除静电离子风嘴或除静电灯中的任意一种或几种。

结合第一方面，在第一方面第二实施方式中，所述受测样品载体包括重力传感器，所述重力传感器与所述控制器连接，用于检测受测样品。

结合第一方面，在第一方面第三实施方式中，所述受测样品载体包括亮度传感器，所述亮度传感器与所述控制器连接，用于检测受测样品。

结合第一方面，在第一方面第四实施方式中，还包括：计时装置，与所述控制器连接，用于确定所述除静电装置的工作时间。

本实用新型实施例提供的技术方案具有如下优点：

本实用新型实施例提供的形貌信息检测系统，当受测样品载体上放置受测样品使，通过开启除静电装置，对形貌检测装置与受测样品之间的静电进行消除后，开启形貌信息检测装置检测受测样品的形貌信息，避免了形貌信息检测装置与受测样品之间的静电对形貌检测结果的影响，提高了形貌检测结果的准确性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。