[实用新型]半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具

说明书

本实用新型公开一种半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具，包括有机架、活动架、摆动架、承托装置、第一驱动机构以及第二驱动机构；该承托装置包括有球轴以及托盘；通过将摆动架的下端与活动架的上端铰接，并配合第一驱动机构带动活动架水平横向及纵向活动，从而通过活动架的水平横向或者纵向活动来控制摆动架万向摆动，球轴通过球头可万向摆动地安装在机架上，而且球轴的下端可转动地安装在摆动架上，从而使得球轴可以随着摆动架的摆动而相应摆动；以及，通过于摆动架上设置有第二驱动机构，从而利用第二驱动机构带动球轴转动；通过第一驱动机构和第二驱动机构来让硅晶圆朝不同方向摆动，这样就可以从多个角度对硅晶圆进行全面的检查。

技术领域

本实用新型涉及硅晶圆检查领域技术，尤其是指一种半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具。

背景技术

半导体加工以及制造业中，硅晶圆表面的检查是十分重要的，其影响到硅晶圆的加工效率。在实际当中，操作者对硅晶圆进行检查时需用手拿着硅晶圆，而且，为了能够对硅晶圆进行全面的检查，以确保检查的准确度，操作者还需要不断地将硅晶圆摆出各种角度，以从多个角度对硅晶圆进行检查。然而，这种用手拿着硅晶圆的检查方式相对于操作者来说不够方便，而且容易造成失误。因此，针对上述问题需要研究一种新的解决方案。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型针对现有技术存在之缺失，其主要目的是提供一种半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具，其能解决操作者对硅晶圆进行检查时的不便且容易失误的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用如下之技术方案：

一种半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具，包括有机架、活动架、摆动架、承托装置、第一驱动机构以及第二驱动机构；该活动架可水平横向及纵向来回活动地设置；该摆动架的下端与活动架的上端铰接；该承托装置包括有球轴以及用于承托半导体硅晶圆的托盘，该球轴具有一球头，球轴通过球头可万向摆动地安装在机架上，托盘固定在球轴的顶端，球轴的下端可转动地安装在摆动架上；该第一驱动机构设置于机架上并带动活动架水平横向及纵向来回活动；该第二驱动机构设置于摆动架并带动球轴转动。

作为一种优选方案，所述活动架包括有活动座和连接杆，该连接杆可转动地竖向安装在活动座上，连接杆的上端与摆动架的下端铰接。

作为一种优选方案，所述第一驱动机构包括有横向主动轴、横向从动轴、纵向主动轴、纵向从动轴、横向滑杆、纵向滑杆、横向电机、纵向电机、两横向皮带和两纵向皮带；该横向主动轴、横向从动轴、纵向主动轴和纵向从动轴均可转动地安装在机架上，该横向主动轴和横向从动轴均纵向延伸并横向间隔平行排布，该纵向主动轴和纵向从动轴均横向延伸并纵向间隔平行排布；该横向滑杆纵向延伸，横向滑杆的两端分别可滑动地套设在纵向主动轴和纵向从动轴上；该纵向滑杆横向延伸，纵向滑杆的两端分别可滑动地套设在横向主动轴和横向从动轴上；该横向电机固定在机架上并带动横向主动轴转动；该纵向电机固定在机架上并带动纵向主动轴转动；该两横向皮带横向延伸并纵向间隔平行排布，两横向皮带连接于横向主动轴和横向从动轴之间，前述横向滑杆的两端分别与两横向皮带固定连接，前述活动座可滑动地套设在横向滑杆上；该两纵向皮带纵向延伸并横向间隔平行排布，两纵向皮带连接于纵向主动轴和纵向从动轴之间，前述纵向滑杆的两端分别与两纵向皮带固定连接，前述活动座可滑动地套设在纵向滑杆上。

作为一种优选方案，所述第二驱动机构包括有电机、主动带轮和从动带轮；该电机固定在摆动架上，该主动带轮安装在电机的输出轴上，该从动带轮固定在球轴的下端，从动带轮与主动带轮之间连接有传动皮带。

作为一种优选方案，所述托盘内具有一气腔，托盘具有一与半导体硅晶圆相适配的凹位，凹位的底面开设有多个气孔，该多个气孔间隔排布并均连通气腔，并且该球轴的上下端面贯穿有气道，该气道的上端与气腔连通。