[实用新型]一种激光腔镜头保护装置

说明书

本实用新型公开了一种激光腔镜头保护装置，包括激光装置本体，激光装置本体具有激光腔体，激光腔体内部设置有激光管，激光腔体与激光装置本体上设置的开口连通，开口有两个，每个开口处都设置有镜头，每个镜头的一侧设置有隔离板，两个隔离板都位于激光腔体内，每个隔离板与镜头之间形成进气部，每个隔离板与激光管之间形成排气部，激光装置本体外部设置有加压泵、气体过滤器和真空抽泵且依次连通，加压泵与进气部连通，真空抽泵与排气部连通，本实用新型的目的在于提供一种高透过率的激光腔镜头保护装置。

技术领域

本实用新型涉及气体激光器，尤其涉及一种气体激光器的激光腔镜头保护装置。

背景技术

气体激光器利用气体作为工作物质产生激光的器件，现有准分子气体激光器激光腔镜头直接与激光腔内的反应气体接触，在内部电极放电和激光输出时，容易导致内部污染物(主要为金属氯化物、含氯烃以及其他颗粒)附着在镜头表面，导致镜头透过率下降，激光输出效率降低，因此对于一种激光腔镜头保护装置，减少镜头上污染物附着几率是我们要解决的问题。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种高透过率的激光腔镜头保护装置。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：包括激光装置本体，激光装置本体具有激光腔体，激光腔体内部设置有激光管，激光腔体与激光装置本体上设置的开口连通，开口有两个，每个开口处都设置有镜头，每个镜头的一侧设置有隔离板，两个隔离板都位于激光腔体内，每个隔离板与镜头之间形成进气部，每个隔离板与激光管之间形成排气部，激光装置本体外部设置有加压泵、气体过滤器和真空抽泵且依次连通，加压泵与进气部连通，真空抽泵与排气部连通。

本实用新型一种层流罩的有益效果是，激光装置本体具有激光腔体，激光腔体内部设置有激光管，激光装置本体上的开口和激光腔体连通，激光装置本体外部的加压泵、气体过滤器和真空抽泵依次连通，每个隔离板与镜头之间形成进气部，每个隔离板与激光管之间形成排气部，真空抽泵与排气部连通，加压泵与进气部连通，通过加压泵将激光腔内部气体净化加压后，通过进气部进入腔体，进气部处为正压，排气部处为负压，真空抽泵将气体从排气部抽出再进入气体过滤器，然后进入加压泵再回到进气部，在镜头前5mm-10mm区域形成正压区，在10-15mm处形成负压区，形成气流，将污染物从镜头处排开，有效的减少附着在镜头上的几率，大大的提高了镜头的透光率，未抽取的气体也被正压区气压再次挤压后回到负压区，减少气体附带的污染物落到镜头上。

作为本实用新型的进一步改进是，还包括减噪箱，减噪箱和激光装置本体上端面连接且固定，减噪箱内壁设置有吸音海绵，加压泵、气体过滤器和真空抽泵设置在减噪箱内，加压泵、气体过滤器和真空抽泵在减噪箱内工作产生的噪音由吸音海绵吸收。

作为本实用新型的进一步改进是，镜头通过夹爪设置在激光腔体内且可拆卸，夹爪有两个且固定设置在进气部，两个夹爪配合形成夹取区固定镜头，经过长时间的使用后，镜头上会存在一些污染物，可以对镜头进行更换。

作为本实用新型的进一步改进是，夹爪和镜头的接触面设置有海绵垫，对镜头起到保护作用不受损伤。

作为本实用新型的进一步改进是，气体过滤器外部设置有容置槽，加压泵和真空抽泵与气体过滤器对应的端面都设置有凸块，凸块嵌入容置槽且密封，长时间使用气体过滤器后，可以将气体过滤器拆卸下来进行清洗，提高气体过滤器的使用寿命。

作为本实用新型的进一步改进是，激光装置本体外部设置有保护板，保护板与开口对应，装置本体外部设置有多个卡槽，保护板上设置的多个卡条嵌入卡槽，在气体激光器停止工作的时候，保护板的卡条嵌入卡槽，对镜头起到保护作用，使外部的灰尘不落入镜头表面。

附图说明

图1为本实施例激光装置本体的剖视图；

图2为本实施例的俯视图。