[实用新型]氢氟酸原料室有效
| 申请号： | 201921637587.1 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN211037965U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 童晨 | 申请（专利权）人： | 昆山晶科微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | E04H1/12 | 分类号： | E04H1/12;G08B21/12;C02F1/66;C02F101/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氢氟酸 原料 | ||
【权利要求书】：
1.氢氟酸原料室，其特征在于，包括仓储间和排气系统，所述仓储间内设置有若干氢氟酸监测报警器，所述仓储间的两个相对的墙壁上各设置有一个进出口，在所述进出口的顶部设置有密封卷帘门，所述排气系统的排气管设置于仓储间的屋顶中；所述仓储间的地面中设置有一圈凹槽，所述凹槽的顶部设置有自动密封盖板，所述凹槽内放置有若干石灰包；所述仓储间墙壁的下半部设置有若干喷淋管。
2.根据权利要求1所述的氢氟酸原料室，其特征在于，所述仓储间的墙壁中设置有观察窗。
3.根据权利要求1所述的氢氟酸原料室，其特征在于，所述仓储间的墙壁中设置有密封门。
4.根据权利要求1所述的氢氟酸原料室，其特征在于，所述凹槽内设置有提篮，所述石灰包置于所述提篮中。
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