[实用新型]一种用于密闭箱室内的真空装置

权利要求书

1.一种用于密闭箱室内的真空装置，其特征在于，包括安装于密闭箱室（13）内的真空室（1）以及安装于密闭箱室（13）外的真空泵（8），真空室（1）与真空泵（8）之间依次连接波纹管（5）、弯头管道（6）和高真空管道（7）；所述真空室（1）和波纹管（5）、波纹管（5）和弯头管道（6）、弯头管道（6）和高真空管道（7）之间均设有金属密封结构；

所述真空室（1）安装在支架平台（14）上；真空室前门（3）通过前门运动机构（2）安装于真空室（1）上，前门运动机构（2）与桁架（10）固定连接，进而安装在支架平台（14）上；所述真空室（1）设有真空室底门法兰，真空室底门（17）安装在底门升降机构（12）上；所述真空室前门（3）和真空室底门（17）与真空室（1）之间均设有密封圈密封结构。

2.根据权利要求1所述的一种用于密闭箱室内的真空装置，其特征在于，所述金属密封结构包括第一法兰（18）、第二法兰（19）、定位组件（20）、金属密封圈（21）和连接件（22）；所述第一法兰（18）密封侧四个角设均有安装孔，安装孔底部形成螺纹孔；所述定位组件（20）包括螺栓（20-1）、第二弹簧（20-2）和定位销（20-3）；定位销（20-3）通过螺栓（20-1）安装在第一法兰安装孔底部的螺纹孔内；所述定位销（20-3）与第一法兰安装孔孔壁之间设有第二弹簧（20-2）；所述金属密封圈（21）弯曲为方形，套在第一法兰（18）四角安装的定位组件（20）中的定位销（20-3）上；所述第一法兰（18）和第二法兰（19）通过连接件（22）紧固。

3.根据权利要求2所述的一种用于密闭箱室内的真空装置，其特征在于，所述定位销（20-3）为内部中空结构，螺栓（20-1）位于定位销（20-3）内，定位销（20-3）一端内径形成缩径，螺栓（20-1）的螺帽卡在定位销（20-3）的内径缩径处；所述定位销（20-3）与内径缩径同端的外径形成缩径，第二弹簧（20-2）套在定位销（20-3）的外径缩径部。

4.根据权利要求1所述的一种用于密闭箱室内的真空装置，其特征在于，所述密封圈密封结构包括真空室法兰（23）、保持架法兰（24）、门法兰（25）、夹取块（27）、挂件组件（29）、密封圈（34）；所述真空室法兰（23）上端设有用于安装挂件组件（29）的安装定位槽（26）；所述保持架法兰（24）上部设有一个以上的安装孔（28），与安装孔（28）数量对应的挂件组件（29）固定于安装孔（28）内，所述挂件组件（29）包括销柱（32）、垫片（30）和螺钉（31）；所述保持架法兰（24）顶部正中安装有夹取块（27）；所述保持架法兰（24）两侧均设有密封槽（33），密封圈（34）置于密封槽（33）内。

5.根据权利要求1所述的一种用于密闭箱室内的真空装置，其特征在于，所述前门运动机构（2）包括门架（2-16）、动力机构和活动连接机构；所述门架（2-16）通过活动连接机构连接真空室前门（3）；所述活动连接机构包括安装在门架（2-16）上的加力块（2-17），加力块（2-17）通过加力轴（2-18）和第一弹簧（2-20）与挡块（2-19）连接；所述挡块（2-19）上安装有第三滑块（2-22），第三滑块（2-22）在第三导轨（2-21）上滑动，第三导轨（2-21）安装在门架（2-16）上；所述挡块（2-19）还与连杆（2-23）连接；所述连杆（2-23）两端分别通过摆臂（2-24）与真空室前门（3）连接，连杆（2-23）、摆臂（2-24）、真空室前门（3）之间的连接形式为铰链连接，形成四连杆结构；所述门架（2-16）上设计有螺纹孔，顶丝（2-32）与螺纹孔配合安装，实现真空室前门（3）的手动预紧；所述真空室前门（3）底部安装有支撑滚轮（2-26），支撑滚轮（2-26）在轨道（2-27）上运动；所述轨道（2-27）为L形截面轨道，其侧面有缺口，以便于支撑滚轮（2-26）能通过缺口进行前后运动；真空室法兰（23）侧面安装有真空室前门（3）的限位滚轮（2-29）。