[实用新型]一种硅片用装片工装

说明书

本实用新型提供一种硅片用装片工装，包括底座和底板，所述底板通过一垫片呈斜坡状设在所述底座上，所述底板上设有若干自上而下的水溢出槽，所述水溢出槽之间设有互通的水溢出孔，所述底板两侧的所述底座上分别设有侧板，所述底座与所述底板连接的一端上分开设有两后板，所述后板上设有防撞皮筋，所述后板分别与接近的所述侧板的顶端之间设有连接板，所述后板与所述侧板相互垂直且留有间隙设置。本实用新型减少硅片装片时边缘受损，且便于操作。

技术领域

本实用新型属于硅片清洗技术领域，具体涉及一种硅片用装片工装。

背景技术

随着金刚线切片技术推广，硅片产能提升2-3倍，对于后端清洗的压力日益增大，且金刚线硅片边缘在清洗过程中易受损，造成硅落异常，因此对于装片工装便于操作性要求提高。

现有的工装结构员工从周转盒内，将一摞硅片取出，从工装正面将硅片推入，硅片的左右两侧会与侧板摩擦，造成硅落。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硅片用装片工装，减少硅片装片时边缘受损，且便于操作。

本实用新型提供了如下的技术方案：

一种硅片用装片工装，包括底座和底板，所述底板通过一垫片呈斜坡状设在所述底座上，所述底板上设有若干自上而下的水溢出槽，所述水溢出槽之间设有互通的水溢出孔，所述底板两侧的所述底座上分别设有侧板，所述底座与所述底板连接的一端上分开设有两后板，所述后板上设有防撞皮筋，所述后板分别与接近的所述侧板的顶端之间设有连接板，所述后板与所述侧板相互垂直且留有间隙设置。

优选的，所述底座上设有通孔，所述通孔与所述水溢出孔相对应。

优选的，所述底座上设有若干安装孔，所述垫片上设有若干底座连接孔和底板连接孔，所述底板上设有底板安装孔，所述垫片通过所述安装孔、所述底座连接孔、所述底板连接孔和所述底板安装孔分别与所述底座和所述底板安装连接，所述安装连接采用螺栓或螺丝连接。

优选的，所述底板下设有底座接触面，所述底座接触面连接安装在所述底座上，所述底板上与所述底座接触面相反的一面呈斜坡状设在所述底座上。

优选的，所述底板与所述底座之间的倾斜角度范围为10°-15°。

优选的，所述侧板上设有提手，所述提手为方形孔或圆腰形孔。

优选的，所述连接板为L型连接板，所述L型连接板上设有若干连接螺孔，所述连接板通过所述连接螺孔分别与所述侧板和所述后板安装连接，所述安装连接采用螺纹连接。

优选的，所述底座上与所述后板相对的一侧上设有感应螺丝。

优选的，所述底板、所述侧板和所述后板的材料均为PVC。

本实用新型的有益效果是：工装整体结构稳定，员工操作简易；工装侧板与后板的设计，可以有效的减少硅片装片过程时，与侧板的摩擦，减少装片过程中的硅片异常受损和边缘受损；后板留有间隙设置，便于从后侧板间取硅片碎片；底板溢水设计，可方便装取湿硅片。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型背部结构示意图；

图3是本实用新型垫片结构示意图；

图4是本实用新型底板结构示意图；

图5是本实用新型侧面安装结构示意图；

图6是本实用新型装片结构示意图；