[实用新型]一种晶圆载运装置

权利要求书

1.一种晶圆载运装置，其特征在于，包括

底盖(10)，其上设有容置所述晶圆的容置槽(121)；所述容置槽(121)的内侧设有沿所述容置槽(121)的径向凸起以支撑所述晶圆的环形支撑台(122)；

顶盖(20)，所述顶盖(20)设置在所述底盖(10)的一侧且与所述底盖(10)可活动连接，以盖合所述底盖(10)，

限位结构，其包括间隔设置在所述顶盖(20)中的若干限位凸台(23)、以及设置在所述容置槽(121)内侧壁且沿所述环形支撑台(122)间隔设置以与所述限位凸台(23)配合限位的若干限位槽(123)；在所述晶圆置于所述环形支撑台(122)且所述底盖(10)和所述顶盖(20)盖合时，所述限位凸台(23)的内壁面与所述晶圆的外边缘抵接以对所述晶圆进行限位。

2.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述底盖(10)包括第一本体(11)以及设置在所述第一本体(11)上的卡接凸台(12)；所述容置槽(121)设置在所述卡接凸台(12)内侧；

所述顶盖(20)包括第二本体(21)、以及设置在所述第二本体(21)内侧供所述卡接凸台(12)卡入的卡接槽(22)；所述若干限位凸台(23)设置在所述卡接槽(22)中。

3.根据权利要求2所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述环形支撑台(122)的内壁面呈斜坡状；

所述限位凸台(23)的尺寸朝所述卡接槽(22)的开口方向逐渐减小，所述限位凸台(23)的内壁面为斜面。

4.根据权利要求2所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述卡接槽(22)的内侧设有圆形凹槽(221)；所述圆形凹槽(221)的边沿向外延伸与所述卡接槽(22)的内侧壁连接形成支撑台(222)；

所述若干限位凸台(23)间隔设置在所述支撑台(222)上，且从所述支撑台(222)的内侧壁朝所述卡接槽(22)的开口方向延伸。

5.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述限位槽(123)的尺寸大于所述限位凸台(23)的尺寸。

6.根据权利要求2所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述卡接槽(22)的尺寸大于所述卡接凸台(12)的尺寸。

7.根据权利要求2所述的晶圆载运装置，其特征在于，还包括设置在所述顶盖(20)和所述底盖(10)之间的卡接结构；

所述卡接结构包括间隔设置在所述卡接凸台(12)外侧壁的若干卡槽(124)、以及设置在所述卡接槽(22)内侧壁与所述若干卡槽(124)对应设置的卡台(212)。

8.根据权利要求2所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述第一本体(11)位于所述卡接凸台(12)的外周设有第一外凸缘(111)；

所述第二本体(21)位于所述卡接槽(22)的开口端面设有第二外凸缘(211)；

所述顶盖(20)和所述底盖(10)盖合时，所述第一外凸缘(111)与所述第二外凸缘(211)相互贴合。

9.根据权利要求8所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述第一外凸缘(111)和所述第二外凸缘(211)的形状尺寸相适配。

10.根据权利要求2所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述第二本体(21)的顶面设有朝所述顶面边缘凸出的叠合台(24)；

所述第一本体(11)的底面设有与另一所述晶圆载运装置的所述第二本体(21)的叠合台(24)叠合的环形叠合槽(13)。