[实用新型]压电薄膜测试设备有效
申请号: | 201921651840.9 | 申请日: | 2019-09-29 |
公开(公告)号: | CN210741746U | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 黄锦钊;章哲宇;牛洋洋 | 申请(专利权)人: | 深圳数联天下智能科技有限公司 |
主分类号: | G01L27/00 | 分类号: | G01L27/00 |
代理公司: | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人: | 宋菲 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区粤海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 薄膜 测试 设备 | ||
1.一种压电薄膜测试设备,其特征在于,所述设备包括:
测试台,具有承载面,所述承载面用于承载叠设的被测压电薄膜和基准压电薄膜;
滚轮,位于所述承载面上,并位于所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜上方且抵接于其中一压电薄膜;
驱动装置,与所述滚轮连接,用于驱动所述滚轮在所述承载面上移动,以使所述滚轮滚压于所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜;以及
测试装置,用于与所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜电连接,以接收所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜产生的电信号。
2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述设备还包括:
支撑板,其上设有与所述驱动装置配合的滑轨;
所述驱动装置可滑动地设置于所述滑轨。
3.根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述滑轨的延伸方向与所述承载面平行。
4.根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述驱动装置包括电机、丝杆和移动本体,所述电机固定于所述支撑板,所述移动本体的一端与所述滚轮连接,所述移动本体的另一端设于所述丝杆上,且所述移动本体的另一端和所述丝杆设于所述滑轨内,所述电机与所述丝杆连接,所述电机用于驱动所述丝杆转动,以使所述丝杆带动所述移动本体沿所述滑轨移动。
5.根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述设备还包括:
升降结构,与所述支撑板连接,用于调整所述支撑板的高度。
6.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述测试台设有测试固定夹,用于固定所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜。
7.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述测试台设有若干测试位置标记,相邻两个所述测试位置标记之间的间隔距离相同。
8.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述承载面设有凹槽,所述被测压电薄膜和所述基准压电薄膜位于所述凹槽内。
9.根据权利要求8所述的设备,其特征在于,所述滚轮位于所述凹槽内,所述驱动装置驱动所述滚轮沿所述凹槽的延伸方向滚动。
10.根据权利要求1-9任一项所述的设备,其特征在于,所述设备还包括:
静电计,用于与待选压电薄膜连接以确定所述基准压电薄膜。
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