[实用新型]压差探测集成块

说明书

本实用新型提供一种压差探测集成块，属于压差传感器技术领域，包括：上电极；下电极，与所述上电极平行且间隔设置；导气垫圈，为一体结构，连接在所述上电极与所述下电极之间，并分别与所述上电极和下电极通过固定的方式连接为一整体结构；本实用新型的压差探测集成块，采用在上下电极之间加入一体结构的导气垫圈，然后将上下电极以及导气垫圈固定为一个整体，从而可降低现有技术中的压差传感器采用多组调距配件产生的装配积累误差。

技术领域

本实用新型涉及压差传感器技术领域，具体涉及一种压差探测集成块。

背景技术

压差传感器是一种用来测量两个压力之间差值的传感器，通常由上下两电极、调距配件、固定配件等多个内部配件以及外部的温度系统和探测系统组成。

在压差传感器装配中，由于温度以及装配因素的变化，容易导致上下两电极之间的间距(d值)产生变化；一般为了减少此变化影响，需要在压差传感器的内部，通过多个调距配件(如垫圈、垫片)来缓解压应力，并在压差传感器的外部设置一套高精度加热温包，通过对环境温度进行控制，以此减少温度对探测精度的影响。

然而，在压差传感器内部，由于多个调距配件的积累嵌入，将会产生积累误差，导致传感器的压差探测精度受到影响，并且增加制作工艺的复杂性。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的压差传感器，由于需要通过多个调距配件进行缓解压应力，容易导致传感器的压差探测精度受到影响的缺陷，从而提供一种压差探测集成块。

本实用新型还提供一种上述压差探测集成块的制造方法。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种压差探测集成块，包括：

上电极；

下电极，与所述上电极平行且间隔设置；

导气垫圈，为一体结构，连接在所述上电极与所述下电极之间，并分别与所述上电极和下电极通过固定的方式连接为一整体结构。

作为优选方案，所述导气垫圈为环形，在所述导气垫圈上具有用于连通所述环形的内圈与外圈的导气通道。

作为优选方案，所述导气通道设置在所述导气垫圈的一面上。

作为优选方案，所述导气通道具有，沿圆周方向均匀设置的多个径向连通通道。

作为优选方案，所述导气通道还具有，沿所述导气垫圈的圆周方向设置的连通多个所述径向连通通道的圆周连通通道。

作为优选方案，所述导气垫圈为零膨胀材料。

作为优选方案，所述导气垫圈为金属复合材料、氧化物复合材料、零膨胀玻璃或微晶玻璃中的一种。

作为优选方案，所述导气垫圈与所述上电极和所述下电极之间通过粘接或焊接方式固定连接。

本实用新型还提供一种压差探测集成块的制造方法，包括以下步骤：

制作导气垫圈，根据上电极与下电极之间的设置间距，选取垫圈的厚度，然后在垫圈上设置可连通内外侧的导气通道；

组装集成块，将上电极、导气垫圈和下电极依次叠合，并通过固定连接将所述上电极、导气垫圈和下电极连接为一个整体。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的压差探测集成块，采用在上下电极之间加入一体结构的导气垫圈，然后将上下电极以及导气垫圈固定为一个整体，从而可降低现有技术中的压差传感器采用多组调距配件产生的装配积累误差。