[实用新型]一种适用于扫描电镜EBSD测试的试验台有效
申请号: | 201921655467.4 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN210834962U | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 浦红;方政;刘敏;刘志军 | 申请(专利权)人: | 马鞍山钢铁股份有限公司 |
主分类号: | G01Q30/20 | 分类号: | G01Q30/20;G01Q30/02;H01J37/20 |
代理公司: | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人: | 王冰冰 |
地址: | 243041 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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搜索关键词: | 一种 适用于 扫描电镜 ebsd 测试 试验台 | ||
1.一种适用于扫描电镜EBSD测试的试验台,包括基台,其特征在于,所述试验台还包括样品座和可将样品座限位安装于基台斜面上的限位安装结构,所述样品座上设有用于定位和固定样品的定位紧固机构。
2.根据权利要求1所述适用于扫描电镜EBSD测试的试验台,其特征在于,所述定位紧固机构包括设于样品座上端面边侧的第一定位块和第二定位块,所述第二定位块设有螺丝孔,通过螺丝穿过螺丝孔将样品固定于样品座上。
3.根据权利要求2所述适用于扫描电镜EBSD测试的试验台,其特征在于,所述样品座为圆形,所述第一定位块与第二定位块均为圆弧形定位挡块。
4.根据权利要求2或3所述适用于扫描电镜EBSD测试的试验台,其特征在于,所述第一定位块为一个,第二定位块为两个,两个第二定位块与一个第一定位块形成三点固定结构。
5.根据权利要求4所述适用于扫描电镜EBSD测试的试验台,其特征在于,所述两个第二定位块之间的连线平分样品座的上端面,且第一定位块位于两个第二定位块之间连线的垂直平分线上。
6.根据权利要求1所述适用于扫描电镜EBSD测试的试验台,其特征在于,所述限位安装结构包括螺栓、基台腿、样品座腿和设于基台斜面且垂直于基台斜面方向上的定位孔,所述样品座腿与定位孔定位连接。
7.根据权利要求6所述适用于扫描电镜EBSD测试的试验台,其特征在于,所述限位安装结构还包括设于基台侧面的螺栓孔,通过螺栓穿过螺栓孔对安装入定位孔内的样品座腿进行定位。
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