[实用新型]一种等离子气体用的传输装置有效
| 申请号： | 201921658773.3 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN210607177U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 杨逸波 | 申请（专利权）人： | 无锡英普朗科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32366 | 代理人： | 周子轶 |
| 地址： | 214124 江苏省无锡市经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 体用 传输 装置 | ||
1.一种等离子气体用的传输装置，其特征在于，包括：
传输管道，所述传输管道的进口端和出口端分别与第一设备和第二设备连通，以将所述等离子气体从所述第一设备传输到所述第二设备中；
气体加热器件，所述气体加热器件设于所述传输管道的内部，以对所述传输管道内流动的所述等离子气体进行加热；
控制模块，所述控制模块设于所述传输管道外部，所述控制模块与所述气体加热器件电性连接，以对所述气体加热器件进行控制；
电源，所述电源与所述控制模块电性连接，以对所述控制模块提供电能。
2.根据权利要求1所述的等离子气体用的传输装置，其特征在于，所述第一设备为气体发生设备，所述第二设备为半导体刻蚀设备。
3.根据权利要求1所述的等离子气体用的传输装置，其特征在于，所述第一设备上设有第一安装接口，以安装所述传输管道的所述进口端；所述第二设备上设有第二安装接口，以安装所述传输管道的所述出口端。
4.根据权利要求1所述的等离子气体用的传输装置，其特征在于，所述控制模块为PID控制模块或PD控制模块。
5.根据权利要求4所述的等离子气体用的传输装置，其特征在于，所述控制模块为PID控制模块。
6.根据权利要求1所述的等离子气体用的传输装置，其特征在于，所述控制模块与所述第一设备电性连接。
7.根据权利要求6所述的等离子气体用的传输装置，其特征在于，所述控制模块与所述第一设备的控制装置电性连接。
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