[实用新型]一种用于防止等离子气体沉积的传输单元

权利要求书

1.一种用于防止等离子气体沉积的传输单元，其特征在于，包括：

具有进口和出口的管体、设置在所述管体内的加热丝；

所述加热丝自所述管体的进口处延伸至所述管体的出口处；

所述加热丝包括第一本体和套设在所述第一本体外侧的第二本体，所述第一本体为镍铬合金层，所述第二本体为不锈钢层。

2.根据权利要求1所述的用于防止等离子气体沉积的传输单元，其特征在于，所述加热丝以螺旋形状分布于所述管体的内部。

3.根据权利要求2所述的用于防止等离子气体沉积的传输单元，其特征在于，所述加热丝的所述螺旋形状的轴线与所述管体的轴线重合。

4.根据权利要求1所述的用于防止等离子气体沉积的传输单元，其特征在于，所述加热丝的两端分别设置于所述管体两端的中心位置。

5.根据权利要求1所述的用于防止等离子气体沉积的传输单元，其特征在于，所述加热丝与所述管体的内壁接触设置，所述加热丝与所述管体的内壁存在多个接触点。