[实用新型]一种对准机构及应用所述对准机构的对准系统

说明书

一种对准机构及应用所述对准机构的对准系统,其中对准机构包括依次连接的相机、镜头和光源，所述相机和所述镜头的数量为两个，一组镜头和相机连接构成第一对准件，另一组镜头和相机连接构成第二对准件，第一对准件和第二对准件并列排列，并彼此相接或者具有微小间隙，所述光源邻接所述第一对准件和所述第二对准件的镜头，覆盖所述第一对准件和所述第二对准件镜头的轮廓范围。通过对准机构和应用其的对位系统的使用，可以快速的实现对距离极近的对位点的对准，并且对位点距离适应范围大，极高的提升了对位效率。

技术领域

本发明涉及曝光机技术领域，具体是一种曝光机的对准机构及应用所述对准机构的对准系统。

背景技术

激光直写式曝光是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图，相比于传统的掩膜版和菲林底片等曝光的影像直接转移技术，直写式曝光技术产能高，对位精度高。在半导体及PCB生产领域有着非常重要的作用。激光直写式曝光机需要对准流程来保证对位精度，对准流程的效率也决定了生产效率。

目前市场上直写曝光多以单台面曝光机为主。在应用多片板同时曝光时，对位效率低下，尤其是当多片板的对位点距离很近时，因为对准机构的尺寸限制，两个相机不能运动到足够近的距离，因此两个相机不能同时获取图像，只能分开获取图像，从而导致效率低下。本实用新型提供了一种对准机构，可以同时获取距离很近的对位点，有效提高了对准效率。

实用新型内容

本实用新型目的是为了解决现有对位点太近导致对准效率低的问题，提供一种曝光机的对准机构。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：

一种对准机构，其包括依次连接的相机、镜头和光源，其特征在于，所述相机和所述镜头的数量为两个，一组镜头和相机连接构成第一对准件，另一组镜头和相机连接构成第二对准件，第一对准件和第二对准件并列排列，并彼此相接或者具有微小间隙，所述光源邻接所述第一对准件和所述第二对准件的镜头，覆盖所述第一对准件和所述第二对准件镜头的轮廓范围。

进一步的，所述光源采用U形光源。

进一步的，所述 U形光源的轮廓呈田径跑道形状。

进一步的，所述相机采用大视场相机。

一种对准系统，其包括位于两端滑动设置的对位相机，其还包括置于所述对位相机之间的上述任一对准机构。

进一步的，所述对准机构固定设置。

进一步的，所述对准机构滑动设置。

通过本实用新型所述的对准机构和对准系统，可以快速的实现对距离极近的对位点的对准，并且对位点距离适应范围大，极高的提升了对位效率。

附图说明

图1为本实用新型并列相机示意图。

图2为本实用新型对准机构一例实例示意图。

图3为本实用新型对准机构一例实例示意图。

图4为本实用新型并列相机对位范围示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，其中关于方向的描述仅是为了清除的说明技术方案，并不是对于本发明的限制。