[实用新型]一种多维移动装置

权利要求书

1.一种多维移动装置，其特征在于，包括，

架体(1)；

第一运动组件，安装在所述架体(1)上，受第一驱动组件驱动在所述架体(1)上沿Z轴方向移动；

第二运动组件，安装在所述第一运动组件的第一支撑臂(21)上，随所述第一运动组件在Z轴方向移动，受第二驱动组件的驱动在所述第一支撑臂(21)上沿Y轴方向移动；

第三运动组件，安装在所述第二运动组件上，随所述第二运动组件在Y轴方向移动，所述第三运动组件包括，

安装架(41)，固定设置在所述第二运动组件的第二支撑臂(31)上；

第一安装杆(42)，可沿X轴往复移动的设置在所述安装架(41)上；

移动端(44)，可多维转动的安装在所述第一安装杆(42)上，用于设置待测件；

控制器，与所述第一驱动组件和第二驱动组件连接，控制所述第一驱动组件和所述第二驱动组件的运动。

2.根据权利要求1所述的多维移动装置，其特征在于，所述第三运动组件上还设置有第二安装杆(43)，和与所述控制器连接的传感器(5)，所述第二安装杆(43)在设定方向上往复移动的安装在所述第一安装杆(42)的远离所述第二运动组件的一端，所述传感器(5)固定安装在所述第一安装杆(42)内，且位于所述第二安装杆(43)的靠近所述第一安装杆(42)的一端的内侧，所述第二安装杆(43)通过偏压件与所述传感器(5)连接，将所述第二安装杆(43)受到的压力传递给所述传感器(5)。

3.根据权利要求2所述的多维移动装置，其特征在于，所述第一安装杆(42)的远离所述第二运动组件的一端内设有安装腔(46)，所述安装腔(46)的内侧固定安装有所述传感器(5)，所述第二安装杆(43)穿设于所述安装腔(46)中，与所述第一安装杆(42)的远离所述第二运动组件的一端平行，所述第二安装杆(43)的位于所述安装腔(46)内部的一端与所述偏压件抵接，位于所述安装腔(46)外部的一端与所述移动端(44)连接。

4.根据权利要求3所述的多维移动装置，其特征在于，所述偏压件为弹簧(45)，所述第二安装杆(43)的位于所述安装腔(46)内部的一端套设在所述弹簧(45)内。

5.根据权利要求1－4中任一项所述的多维移动装置，其特征在于，所述第一安装杆(42)受第三驱动机构的驱动在X轴方向移动，所述第三驱动机构与所述控制器连接。

6.根据权利要求1－4中任一项所述的多维移动装置，其特征在于，所述第一安装杆(42)和所述安装架(41)通过螺纹连接，转动所述第一安装杆(42)，所述第一安装杆(42)相对所述安装架(41)在X轴方向移动。

7.根据权利要求2所述的多维移动装置，其特征在于，所述移动端(44)通过球铰或虎克铰与所述第二安装杆(43)连接。

8.根据权利要求1所述的多维移动装置，其特征在于，所述第一安装杆(42)为直线型或Γ型。

9.根据权利要求1－4、7、8中任一项所述的多维移动装置，其特征在于，所述移动端(44)具有安装所述待测件的扣合结构。

10.根据权利要求9所述的多维移动装置，其特征在于，所述待测件为待测电极。