[实用新型]一种纳米线气体传感器及电子鼻系统有效
| 申请号： | 201921663061.0 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN211553852U | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 黄辉;赵丹娜;尚瑞晨;段海波;吴海宁 | 申请（专利权）人： | 深圳市微纳集成电路与系统应用研究院 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 汪海琴 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 气体 传感器 电子 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米线气体传感器，其特征在于，所述纳米线气体传感器包括衬底和多根纳米线，多根所述纳米线设置在所述衬底的上表面，每个所述纳米线的两端均设置有电极，多根所述纳米线的表面分别覆盖多种表面修饰层。
2.根据权利要求1所述的纳米线气体传感器，其特征在于，多种所述纳米线平行排列在所述衬底的上表面。
3.根据权利要求1所述的纳米线气体传感器，其特征在于，多种所述纳米线包括元素半导体纳米线、金属氧化物半导体纳米线和化合物半导体纳米线中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的纳米线气体传感器，其特征在于，化合物半导体纳米线为氮化物半导体纳米线。
5.根据权利要求1所述的纳米线气体传感器，其特征在于，多种所述表面修饰层包括金属催化剂镀层、金属氧化物催化剂镀层、氧化层和金属氧化物层中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的纳米线气体传感器，其特征在于，所述表面修饰层和所述纳米线形成芯包层结构。
7.根据权利要求1所述的纳米线气体传感器，其特征在于，所述衬底为蓝宝石衬底或石英衬底。
8.一种电子鼻系统，其特征在于，所述电子鼻系统包括如权利要求1至5任意一项所述的纳米线气体传感器。
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