[实用新型]真空吸板气路控制装置

权利要求书

1.真空吸板气路控制装置，其特征在于，包括真空吸板、多级真空发生器、三位三通中封双电控先导式电磁阀和二位二通常闭单作用锁定阀；

所述多级真空发生器设置在真空吸板的气口端并为真空吸板提供真空源，所述三位三通中封双电控先导式电磁阀分别与压缩空气气源和多级真空发生器连通，所述三位三通中封双电控先导式电磁阀与二位二通常闭单作用锁定阀连接，所述三位三通中封双电控先导式电磁阀以及二位二通常闭单作用锁定阀的控制端与压缩空气气源连接。

2.根据权利要求1所述的真空吸板气路控制装置，其特征在于，还包括过滤器，所述过滤器与二位二通常闭单作用锁定阀连通。

3.根据权利要求2所述的真空吸板气路控制装置，其特征在于，还包括设置在真空吸板上的数字压力传感器。

4.根据权利要求1所述的真空吸板气路控制装置，其特征在于，还包括集成芯片和指示灯，所述三位三通中封双电控先导式电磁阀和指示灯分别与集成芯片电连接。

5.根据权利要求4所述的真空吸板气路控制装置，其特征在于，还包括与集成芯片电连接的显示屏。