[实用新型]三氯氢硅储存利用过程中氢气的循环系统

说明书

本实用新型公开了一种三氯氢硅储存利用过程中氢气的循环系统，包括有精馏塔、第一中间储罐、第二中间储罐、还原炉，精馏塔的出口与进料泵的入口管线连接，进料泵的出口分别与第一中间储罐、第二中间储罐的入口管线连接，在第一中间储罐与第二中间储罐之间连通有连接管线，第一中间储罐、第二中间储罐的出口分别与屏蔽泵的入口管线连接，屏蔽泵的出口与还原炉的入口管线连接。优点：不仅可以对氢气进行充分的回收和循环利用，还能大大减少三氯氢硅与其他气体接触造成的品质问题及三氯氢硅的浪费，降低了成本；三氯氢硅打入第一中间储罐时排出的夹杂有少量三氯氢硅的氢气直接排入第二中间储罐中提供给屏蔽泵入口压力，保证屏蔽泵的正常工作。

技术领域：

本实用新型涉及无机非金属材料技术领域，具体涉及三氯氢硅储存利用过程中氢气的循环系统。

背景技术：

精馏车间中的中间储罐用来储存合格的三氯氢硅液体，为避免三氯氢硅与中间储罐内的其它气体产生反应，一般需要在打入三氯氢硅之前将中间储罐内填充满氢气，经精馏塔精馏产生的合格三氯氢硅通过进料泵打入中间储罐，中间储罐中夹杂少量三氯氢硅的氢气通过管道进入回收车间。

目前存在的问题有：1、在回收车间用氢氧化钙进行中和处理氢气中夹带出来的少量酸性的三氯氢硅，并将氢气提纯，由于三氯氢硅的生产量较大，导致处理氢气中夹带的三氯氢硅时氢氧化钙用量大、成本高，同时造成三氯氢硅的浪费，减少了三氯氢硅的产量，降低了生产效果；2、三氯氢硅作为多晶硅还原的主要物料，中间储罐中的三氯氢硅需要通过屏蔽泵打入还原炉中进行反应，为了满足屏蔽泵工作时入口压力的要求，目前需要在泵送的同时额外向中间储罐加入氢气，增加中间储罐内的压力，以满足屏蔽泵的正常工作需求，但是这样造成氢气用量大，成本高。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种三氯氢硅储存利用过程中氢气的循环系统。

本实用新型由如下技术方案实施：三氯氢硅储存利用过程中氢气的循环系统，包括有精馏塔、第一中间储罐、第二中间储罐、还原炉，所述精馏塔的出口与进料泵的入口管线连接，所述进料泵的出口分别与所述第一中间储罐、所述第二中间储罐的入口管线连接，在所述进料泵的出口与所述第一中间储罐的入口之间的管线上设有第一截止阀，在所述进料泵的出口与所述第二中间储罐的入口之间的管线上设有第二截止阀，在所述第一中间储罐与所述第二中间储罐之间连通有连接管线，在所述连接管线上设有球阀，所述第一中间储罐、所述第二中间储罐的出口分别与屏蔽泵的入口管线连接，在所述第一中间储罐的出口与所述屏蔽泵的入口之间的管线上设有第三截止阀，在所述第二中间储罐与所述屏蔽泵的入口之间的管线上设有第四截止阀，所述屏蔽泵的出口与所述还原炉的入口管线连接。

进一步的，在所述第一中间储罐、所述第二中间储罐的顶端均设有压力表，且在所述第一中间储罐、所述第二中间储罐顶端均设有与其内部连通的补气管，在所述补气管上设有第五截止阀。

本实用新型的优点：1、不仅可以对氢气进行充分的回收和循环利用，还能大大减少三氯氢硅与其他气体接触造成的品质问题及三氯氢硅的浪费，保证了三氯氢硅产量的稳定，降低了氢气的用量，减少了氢气与三氯氢硅分离过程，同时降低了成本、提高了生产效率；2、三氯氢硅打入第一中间储罐时排出的夹杂有少量三氯氢硅的氢气直接排入第二中间储罐中提供给屏蔽泵入口压力，保证屏蔽泵的正常工作，还能将全部的三氯氢硅排入还原炉中的同时将中间储罐填充满氢气用来下次储存三氯氢硅。

附图说明：

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为该实施例的系统连接关系示意图。