[实用新型]一种针对镜面表面变形梯度的双方向同步在线测量系统有效
申请号: | 201921667890.6 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN210486808U | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 谢惠民;李加强 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01B11/16 | 分类号: | G01B11/16;G01B11/24 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 罗文群 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 针对 表面 变形 梯度 双方 同步 在线 测量 系统 | ||
1.一种针对镜面表面变形梯度的双方向同步在线测量系统,其特征在于该双方向同步测量系统包括激光器(1)、扩束凸透镜(2)、准直凸透镜(3)、汇集透镜(7)、汇集透镜支架(701)、CCD相机(8)、光阑(802),第一反射镜(901)、第二左反射镜(902)、第二右反射镜(903)、第一分光棱镜(101)、第二分光棱镜(102)、前旋转光栅(12)、后旋转光栅(13)、前固定光栅(14)和后固定光栅(15);所述的激光器(1)、扩束凸透镜(2)、准直凸透镜(3)和第一反射镜(901)沿第一光轴同光轴安装,其中,激光器(1)固定在激光器支架(100)上,扩束凸透镜(2)固定在扩束镜支架(201)上,准直凸透镜(3)固定在准直凸透镜支架(301)上,第一反射镜(901)固定在第一反射镜支架(9011)上,第一反射镜(901)的反射镜面法线与第一光轴的夹角为22.5°,激光器支架(100)、扩束镜支架(201)、准直凸透镜支架(301)和第一反射镜支架(9011)分别安装在基座(0)的一侧;所述的第一分光棱镜(101)固定在第一分光棱镜支架(1011)上,分光棱镜的分光面的法线与第一光轴垂直,第一分光棱镜(101)与第一光轴的处置距离L1为50mm,第一分光棱镜支架(1011)安装在基座(0)的中间位置;第二分光棱镜(102)固定在第二分光棱镜支架(1021)上,第二分光棱镜(102)的分光面的法线与第一光轴垂直,第二分光棱镜(102)的与第一光轴处置距离L2为100mm,第二分光棱镜安装在基座(0)上;第二左反射镜(902)、前旋转光栅(12)、后旋转光栅(13)、汇集透镜(7)、CCD相机(8)和光阑(802)沿第二光轴同光轴安装,其中,第二左反射镜(902)固定在第二左反射镜支架(9021),第二左反射镜(902)与第一反射镜(901)平行,前旋转光栅(12)镶嵌在前旋转光栅支架(121)上的第一旋转框(122)上,后旋转光栅(13)镶嵌在后旋转光栅支架(131)上的第二旋转框(132)上,汇集透镜(7)固定在汇集透镜支架(701)上,CCD相机(8)固定在CCD相机支架(801)上,第二左反射镜支架(9021)、前旋转光栅支架(121)、后旋转光栅支架(131)、汇集透镜支架(701)、CCD相机支架(801)上和光阑(802)安装在基座(0)的中间位置;所述的第二右反射镜(903)、前固定光栅(14)、后固定光栅(15)、汇集透镜(7)、CCD相机(8)和光阑(802)沿第三光轴同光轴安装,其中,第二右反射镜(903)固定在第二右反射镜支架(9031)上,且第二右反射镜(903)的镜面与第三光轴的夹角为-22.5°,前固定光栅(14)固定在前固定光栅支架(141)上,后固定光栅(15)固定在后固定光栅支架(151)上,汇集透镜(7)固定在汇集透镜支架(701)上,CCD相机(8)固定在CCD相机支架(801)上;第二右反射镜支架(9031)、前固定光栅支架(141)、后固定光栅支架(151)、汇集透镜支架(701)、CCD相机支架(801)和光阑(802)安装在基座(0)右侧位置。
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