[实用新型]一种双向进出管式PECVD设备

说明书

本实用新型公开了一种双向进出管式PECVD设备，包括至少一个设备进口和一个设备出口，自设备进口朝向设备出口依次设置放舟部、预热部、PECVD工艺反应炉管、冷却部和取舟部，放舟部将石墨舟外部的石墨舟抓取并收取到放舟部，放舟部将石墨舟放至预热部进行预热，预热完成后石墨舟移动到PECVD工艺反应炉管进行反应，结束后再到冷却部冷却，冷却结束后通过取舟部将石墨舟取出设备。采用本实用新型的设计，采用双向进出的模式进行PECVD反应，当进行PECVD反应的同时能够进行预热操作，大大加快了生产工艺的进程。

技术领域

本实用新型涉及一种PECVD设备，特别是一种双向进出管式PECVD设备。

背景技术

PECVD技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上(即样品放置的托盘)产生辉光放电，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。

现有的PECVD设备包括取放舟系统和PECVD工艺反应炉管两部分，其中，取、放舟系统位于PECVD工艺反应炉管的同一侧，及石墨舟的进口和出口为同一个，但是此种方式存在的弊端是同一时间最多只能有两个石墨舟在设备中，一个放舟机械手上，一个PECVD工艺反应炉管中反应，然后取舟机械手取出，进行接续操作，且在PECVD工艺反应炉管中需要完成预热，反应和冷却三步，流程时间约为35-45分钟，其中石墨舟进入炉管后，需首先进行升温，将炉管内部和石墨舟升温至工艺反应所需求的温度，该步骤大致时间为10-15分钟左右，占用整个镀膜工艺的时间约30％左右。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的在于解决现有的PECVD设备取放舟在同一侧，在PECVD工艺反应炉管中需要同时完成预热、反应和冷却操作，工时漫长，生产效率低下的问题。

技术方案：本实用新型提供以下技术方案：

一种双向进出管式PECVD设备，包括至少一个设备进口和一个设备出口，自设备进口朝向设备出口依次设置放舟部、预热部、PECVD工艺反应炉管、冷却部和取舟部。

采用双向的设计，设备进口设置于放舟部进口，设备出口设置于取舟部出口，石墨舟从设备进口进入，设备出口取出，在设备中，可以在每个工位同时容纳至少一个石墨舟，即整个设备能够同时容纳至少5个石墨舟，相对于现有技术而言具有长足的进步。

采用此种结构的设备，能够适用于所有需要进行预热的表面镀膜工艺，如表面镀氧化铝膜工艺等。

进一步地，所述放舟部和取舟部均包含至少一个能够进行传输石墨舟的机械手。

机械手的伸缩长度至少要保证机械手能够伸至PECVD工艺反应炉管并使得第一电极柱和第二电极柱形成电接触。

进一步地，放舟部、预热部、PECVD工艺反应炉管、冷却部和取舟部各部分间均设有隔热层。

避免了相互间温差的影响。

进一步地，每根PECVD工艺反应炉管的内壁均具有能够为石墨舟正负极供电的第二电极柱。

对应的，本设备所采用的石墨舟也要做出改进，包括多层堆叠设置的石墨舟片，相邻的石墨舟片间有用于放置硅片的空隙，其特征在于：在石墨舟片的靠近边缘处有两根将多片石墨舟片串接的第一电极柱，相邻的两片石墨舟片，分别连接到两根电极柱。

第一电极柱和第二电极柱配合，进行正负极供电。

进一步地，第二电极柱沿PECVD工艺反应炉管的长度方向延伸。